世界最好的光刻机是多少纳米

最先进的光刻机多少nm（中国最好的光刻机是多少纳米）

上海微电子(SMEE)作为光刻机方面最先进的设计制造技术制造商，目前最高技术节点可达90nm。90nm是什么概念？大致相当于2004年2月英特尔的奔腾4，当时最强的3.8Ghz的普雷斯科特架构是90nm光刻，也是那个时代晶圆厂最好的工艺代表。此外，索尼Playstation2、IBM PowerPC G5、英伟达GeForce8800 GTS等的处理器。也在同一期间的同一流程节点中。当然，实际的光刻能力，包括晶圆厂的制造能力，最终会有所不同。虽然光刻只是芯片制造上千道工序中的一环，但最关键的是光刻精度不够，任何后续的设计步骤都会产生大量的偏差和失效。这是世界第四，因为没有第五第六。

文章有点难，但是请大家看完，把问题放在评论区。我会尽力回答他们。

光刻基本原理图解:光刻胶会根据掩膜画出的图案被紫外线照射，留下相应的图案形状。

晶圆放大后，可以看到一个个的管芯排列。在芯片内部，有多层电路。这些电路首先通过光刻法制造。

SSX600系列的90nm光刻机大约在2007年研发成功，真正上市时间未知。到目前为止，上海微电子的主流产品还停留在前端90nm和后端光刻系列。后端光刻主要用于高级封装形式，即晶圆级封装(WLP)和凸点形成。光刻精度的要求没有可比性。拜托，有些人不要把封装测试的市场份额拿出来，哪怕是MEMS和液晶面板光刻。完全是两个世界。前者的光刻才是真正的地狱之难。

所谓的IC前通道掩模对准器90nm系列

2021年的今天，90nm光刻机还能做什么？我们来看看下图:55-90nm只有9%的产能，主要是逻辑芯片(如CIS、驱动芯片、控制芯片等。)、e-Flash和DAO(结构最简单的电源分立器件芯片)。也就是说基本上不会是西方卡脖子的范畴，器件设计上结构简单的芯片。

全球晶圆制造能力与技术节点比例

国产光刻机无用进步的原因有很多。其实国家设立相关项目很早，进入项目的也不只是一家公司或者一个研究机构。但是高端光刻机的核心部件大部分不是我们设计制造的，导致一进口就禁运。当然，我们的设备制造商、半导体材料研究所和晶圆厂正在积极寻求与外国机构和企业的合作，以实现RD和其他资源的双赢，并避免一些海外技术、材料和组件的限制。但是，越靠近高端流程节点，这种限制越紧。(你可以去看看比利时的研究机构IMEC。他们在上海也有分公司。)

我们可以首先看一下掩模对准器的主要部件:

光学成像系统（制造更短的波长满足瑞利准则CD = k1 • λ / NA）

光路和激光系统(确定不同的光源和发射模式)

国内商用的激光RD大部分在光电方面，精度水平也不一样。

镜头与对焦系统 （复杂的纳米级光学成像系统）

EUV光罩对准器的内部看起来像这样。

机械、自动化部分 （所谓超精密型自动化系统，感应精度要达到每秒两万次位置检测，每次位移小于一个硅原子的尺寸——60皮米。什么概念？你要开着高达在一根头发上刻自己名字）

传感器要检测图中黑色晶圆上每个管芯内部电路之间光刻的完成，每秒上万次。

测量系统(光学、电子束、扫描仪和图形保真度，这也不是一个简单的部分。在晶圆厂有一个叫做计量的特殊部门来做这项工作。比如电子束需要单机产生电子束和图像，而In-Scanner是亚纳米级的——尺寸精度小于1纳米)。

光学试验机

电子束有一个特殊的系统来负责。

NXE TWINSCAN:3400 c，ASML最新的EUV极紫外光刻系统

稍微查一下资料，就能看出国内有哪些厂商有能力供应65nm以下的光刻系统核心部件，有没有商用级的自主设计制造能力。是的，你猜对了，几乎没有——实验室里和RD基地里都有，但这并不意味着可以进行到商业水平，只能停留在实验室里进行演示和分析。此外，由于存在针对西方世界社会主义国家的禁运游戏，如瓦森纳协议“关于常规武器和两用物品及技术出口控制的瓦森纳安排”，即使是跨国合作也局限在一个非常明确的框架内。现实就是这么残酷！

蓝色瓦塞纳尔协定国家

不是上海微电子做不到，而是上海微电子做不到。这是一整套需要整合社会资源，多层次、多路径的全轨道起步的产业技术开发项目。那个轨道比较慢，我们的下一代，掩模对准器，将不得不等待。资金，我们有的；人才，我们也有；也有参考文献；政策也有明确的导向；舆论也是能量满满。剩下的就是给他们时间和空，因为每个专项都有对应的企事业单位。传闻28浸DUV正在研发中(没错，你知道02项)，但根据最新线索，还需要一段时间才能用于大规模制造晶圆厂。如果14nm吹出来，可以直接作为对上海微电子乃至整个国内光刻机行业的一种支持。

少毒奶，更务实。把他们吹上天未必是好事。把他们贬低为一文不值，玩世不恭，无非是把刀子交给国外渗透势力攻击我们的科研体系。让公众认清现状，我们自己的舆论责无旁贷。

上海微电子任重道远，但仍是国内高端光刻机的希望。

版权声明:本文内容由网友提供，文中观点仅代表作者本人。本网站(http://www.diemang.com/)仅提供信息存储空服务，不拥有所有权并承担相关法律责任。如果您发现本网站涉嫌抄袭侵权/非法内容，请发送电子邮件至3933150@qq.com举报。一经核实，本网站将被立即删除。