克服多重技术障碍成就“指尖”上的FTIR光谱仪_技术

　　FTIR光谱仪（傅里叶转换红外光谱）是利用红外光谱经傅里叶转换来分析杂质浓度的光谱分析仪器，可用于气体、液体的分析等。传统的FTIR光谱仪虽然具有无需利用昂贵的图像传感器的优点，但因其需要高度精准的光学分光仪，所以设备往往是比较大而且昂贵的台式仪器，这便很大程度上限制了设备的应用。“更小尺寸”也就成为FTIR光谱仪发展的一个重要技术话题。

　　而说到“微小”则让人想到了MEMS（微机电系统）技术，它将微电子技术与机械工程相融合，可实现 *** 作范围的在微米范围内。如果把这项技术融合在FTIR光谱仪之中，“台式”变“掌上”应该就不只是个梦了。

　　经过重重技术难题的攻克，滨松公司终于实现了这一构想，成功开发出滨松MEMS-FTIR产品。其利用专有的MEMS技术（半导体材料的三维精密加工的尖端技术），在硅晶片上来制造所有的光学分光元件，最终在只有指尖那么大MEMS-FTIR驱动元件上，实现所有所需的光学功能，在这个超小型MEMS-FTIR核心驱动原件基础之上，滨松最终研制出了“掌上”MEMS-FTIR光谱仪。

　　滨松MEMS-FTIR驱动元件与“掌上”MEMS-FTIR光谱仪C12606 （75x100x27mm）

　　MEMS技术的选择

　　MEMS是通过一个硅晶片和半导体技术实现的具有最小尺寸的轻便的机械组件。硅晶片级的一致流程可实现MEMS的批量生产。基于硅技术，其在高d性和高抗逆性上具明显的机械优势。而集成电路则使其可以轻易获得多种功能。此外，曝光引起的物理负荷亦可被忽略，所以是MEMS驱动器的最佳选择。

　　滨松MEMS-FTIR把一个迈克逊干涉仪以及一个控制移动镜面的触动器高度紧密地集成在了一个硅晶片级别的封装中，一条接受入射光的光纤直接通过被动对准连接到MEMS芯片上，这样大幅的降低了组装成本。而通过DRIE（深反应离子刻蚀），MEMS-FTIR驱动元件的每个光学组件的相对位置十分精确，公差不大于1μm，组装后无需进行任何的光学调整。