2 月 13 日讯,SK 海力士宣布,已经与 Xperi Corp 旗下子公司 Invensas 签订新的专利与技术授权协议,获得了后者 DBI Ultra2.5D/3D 互连技术的授权。
据了解,DBI Ultra 是一种专利的裸片 - 晶圆(die-wafer)混合键合互连技术,使用化学键合来连接不同的互联层,无需铜柱和底层填充,不会增加高度,从而大大降低整体堆叠高度,释放空间,可将 8 层堆叠翻番到 16 层堆叠,获得更大容量,每平方毫米的面积里可以容纳 10 万个到 100 万个互连开孔,相比每平方毫米最多 625 个互连开孔的传统铜柱互连技术,可大大提高传输带宽。
DBIUltra 使用化学键合来连接不同的互联层,也不需要铜柱和底层填充,因此不会增加高度,从而大大降低整体堆叠高度,释放空间,可将 8 层堆叠翻番到 16 层堆叠,获得更大容量。
虽然它要使用新的工艺流程,但是良品率更高,也不需要高温,而高温正是影响良品率的关键因素。
和其他下一代互连技术类似,DBI Ultra 也灵活支持 2.5D、3D 整合封装,还能集成不同尺寸、不同工艺制程的 IP 模块,因此不但可用来制造 DRAM、3DS、HBM 等内存芯片,也可用于高集成度的 CPU、GPU、ASIC、FPGA、SoC。
比如 3D 堆栈内存方案,可以是 4 层的 DRAM,可以是 4/8/12/16 层的 HBM2/HBM3 并在底部整合逻辑电路。
比如 3D 集成方案,可以上方是 4-16 层堆叠 HBM、下方是 CPU/GPU/FPGA/SoC 等逻辑单元。
比如 2.5D 集成方案,可以在基板上一边是 4-16 层堆叠 HBM 并通过逻辑电路接入基板,另一边则是 CPU/GPU/FPGA/SoC 等逻辑单元直接以 DBI Ultra 互连的方式接入基板。
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