电源及系统启动方式
1、打开设备卷帘盖。
2、打开接线板开关,打开蓝色稳压开关。注意:必须待稳压电源指示灯由红色变为绿色?电压稳定后才可进行后续 *** 作,如电压不稳定就开始 *** 作,很可能损坏设备。
3、按下圆形绿色ON开关,打开系统总电源。
4、打开机台右下方的黑色有机玻璃盖子,按下白色圆形按钮启动电脑主机。
5、按下橙色开关power。
6、打开显示器开关,启动PG-2000软件和PClink软件。
7、打开显微镜左侧红色开关。
样品检测 *** 作
1.按下绿色按钮start,载物盘移出,按下VAC抽真空键,真空泵工作。放入芯片,轻触芯片看是否吸附牢固,确定样品放置平整,如不平整则会影响检测结果并损坏探针。
2.芯片放置完毕后再次按下绿色Start键,载物盘归位。
3.选取标准芯片,进行影像学习,设定60%的相似度,可以根据需要自行设定然后点击搜索。
4.取任意最近一点,点击产品设定,选择自动更新,系统自动显示出行数、列数以及晶粒间距,点击产品设定、存储、名称、点击设定名称,自行输入名称后点击离开。
5.点击晶圆水平,进行影像的水平调节。
6.点击影像扫描,系统自动扫描选取样品。
7.进行接触检测,按下UP/DW键观察ES1和ES2指示灯是否亮?亮则说明接触良好,否则为接触不良。若接触不良则需要按下A/Light键,打开环形照明灯,从显微镜的目镜中观察样品以及针头位置,调节探针台的XYZ轴旋钮,使针头能正确接触芯片的电极,直到ES1和ES2指示灯点亮。再次按下UP/DW键,完成接触检测。
8.打开PClink测试连线软件,用户名和密码都是1。进行参数设定,并对档案进行命名,点击开始写档。
9.回到PG2000系统,点击开始测试。按下绿色Start键,设备开始进行检测。检测完成后,按下红色Abort键结束检测。如果在检测过程中需要暂停,则按下黄色Pause键,暂停结束后若仍需继续检测,则按下绿色Start键,系统继续对样品进行检测。若暂停后要结束检测,则按下红色Abort键?系统自动终止检测。
10.正常检测完毕,按下红色Abort键,结束检测。
检测完成系统关闭过程
1、所有检测完成后,若需关闭系统,则首先要关闭PG2000软件和PClink软件,再正常关闭计算机。
2、接着关闭显微镜左侧红色开关。
3、然后关闭橙色POWER开关。
4、确定系统中所有开关均已关闭后,最后按下红色OFF键关闭系统总电源。
5、关闭系统过程中,必须按照以上步骤 *** 作,否则极易造成设备损坏。
6、待系统关闭后,关闭稳压电源蓝色开关,关闭接线板开关。拉下卷帘盖?检查无误后,方可离开。故障备注:设备尚存在一些故障问题,显微镜右眼的目镜是坏的?无法,到样品,仅能从左眼目镜进行观察。
7.进行接触检测时,正常情况下按下UP/DW键观察ES1和ES2指示灯是否亮。点亮则说明接触良好?否则为接触不良,而即使接触良好?ES1和ES2灯也不亮。对针的时候无法直观判断接触情况, *** 作难度很大,需要检修。马老师说过段时间会有工程师来维修和详细培训,维修培训过后我会对 *** 作手册进行进一步的完善和修改。
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