原位芯片建设MEMS液体流量传感器中试和量产测试厂房

12月6日，苏州原位芯片科技有限责任公司（以下简称：原位芯片）今日正式对外宣布，其于11月份完成了由智友金苗基金、凯风创投领投，德迅资本跟投的数千万元Pre-A轮融资。据了解，本轮融资主要用于MEMS液体流量传感器的中试和量产测试厂房的建设。

原位芯片成立于2015年，曾在2018年获得由中科创星领投，诚存资本等跟投的天使轮融资。原位芯片主要从事氮化硅膜产品、新型医疗MEMS（微机电系统）芯片与模组的研发、生产和销售。

据了解，原位芯片现已拥有同步辐射/SEM氮化硅膜窗格、TEM氮化硅膜窗格、原位液体芯片等多种标准化产品。其中，同步辐射/SEM氮化硅膜窗格具有高洁净度，高X-射线透射性，低应力，高强度且膜厚均匀一致的特性，适用于高温（～1000℃）实验以及不同压力环境的测试；TEM氮化硅膜窗格采用低应力技术（＜250MPa），氮化硅膜薄透且不易破损，且拥有单窗格，多窗格及微孔窗格等多种标准产品，适用于所有TEM样品杆；原位液体芯片可以实现高分辨原位TEM液体观测，分辨率可以达到1nm以上。

此外，原位芯片已掌握40多项领先MEMS技术，拥有芯片设计、工艺开发、流片生产和测试的全流程自主研发、自主流片生产能力。

现阶段，医疗产业有对于智能化升级有紧迫的需求，需要监控药液输注、尿液收集等各种进出人体的液体的实时流量，但苦于进口MEMS传感器价格过高无法广泛应用。

原位芯片CEO马硕表示：“原位芯片在医疗MEMS赛道上有着超4年的技术、资源积累。核心产品无论是在精度、体积等方面，还是价格方面，都有着较大的技术优势和市场优势。而这些优势有利于原位芯片进入我国市场，实现进口替代，并广泛普及。”

原位芯片自有一支资深MEMS工艺流片团队，可以自行完成MEMS芯片设计、流片和测试。在此基础上，原位芯片自主研发了医疗型MEMS式液体流量兼气泡传感器MEMS式胰岛素微泵。目前，医疗型MEMS式液体流量兼气泡传感器处于样机客户送样阶段；MEMS式胰岛素微泵产品原型机已开发成功，正在进行样机的开发。

其中，医疗型MEMS式液体流量兼气泡传感器主要用于医疗器械的精确液体流量测量，在10μl/min~10L/min的量程范围内可以实现±5%的液体流量测量精度，下游客户是麻醉泵、化疗泵和镇痛泵等医疗器械厂商，加入该传感器可以大幅提升医疗器械的输出精度，从而提升疗效和患者体验。

而MEMS式胰岛素微泵模组则主要是用于胰岛素高精度供给，可以在不同温度和压力工况下实现±3%的胰岛素注射。据了解，该模组已经获得多家医疗器械公司的送样邀请，这些医疗器械厂商希望用MEMS微泵模组替代他们现在使用的微型电机，从而推出低成本、高精度的贴附式一次性胰岛素泵。

随着我国人口老龄化结构的变化，人们的医疗保健问题变的空前重要。体外诊断、药物研究、病患监测、给药方式以及植入式医疗器械等领域不停的迭代创新。现如今，如何提高产品性能、降低产品成本、缩小产品尺寸成为众多医疗健康企业亟需解决的问题。而MEMS的出现，恰好实现了质的突破，为医疗应用带来前所未有的便利性和体验。

原位芯片表示，未来将基于公司在医疗MEMS领域的设计、工艺和产业资源优势，不断提升现有产品的技术和性能水平，将打破垄断的新型医疗MEMS产品推向市场，并进一步研发不同型号的产品满足医疗产业多样化的需求，全面布局医疗MEMS领域。

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