对MEMS至关重要的封装技术

在MEMS传感器技术不断发展的背后，市场的导向起了极其关键的作用，智能手机、平板电脑等便携设备近年来带领MEMS腾飞就是很好的证明。在未来几百亿美元的庞大MEMS市场中，了解哪些领域稳步发展、哪些领域蕴藏潜力是非常必要的。

在传统的汽车电子和消费电子迎来MEMS传感器需求的稳步增长外，随着人口老龄化，各种远距离监护和高精度治疗设备将越来越多地被引入，未来增长最快的应用市场将来源于医疗电子。ADI微机械产品线高级应用工程师赵延辉表示，由于MEMS具有微型的特点，可以代替器官植入、微量检测，主要的发展方向是血管内手术和颅内手术以及细胞手术。

除去以上三个领域，在工业领域中，MEMS也有很大的应用。小体积、低成本的MEMS传感器越来越多的用在各种机械振动监测上，这可以用来监测马达、轴承等的振动、从而实现预见性维护；利用MEMS技术实现的倾角传感器产品也被广泛用在各种工业测量设备上；还有遥控直升机的伺服系统、两轮车的平衡系统、天线稳定平台等。

不同类型的传感器封装（资料图）

市场应用增长的关键——封装技术

MEMS传感器从分立不断走向融合，正是源于人们对MEMS产品小体积、低成本的不断追求，这恰恰也是目前各大厂商所面临的主要挑战和所致力突破的瓶颈。

意法半导体公司AMS产品部技术市场经理闫子波表示：“意法半导体在加速度传感器、陀螺仪和地磁传感器有着长期的技术和IP积累，但小型化仍然是当前面临的较大挑战之一。”为解决这些问题，意法将采用多项技术来解决，比如今后的加速度传感器和陀螺仪可以共享一个MEMS芯片，六轴系统可集成到更小的封装中，而不用像现在加速度和陀螺仪分别使用两个MEMSDie，占用较大的面积。

创新的封装技术不仅解决了小型化的问题，在提高产品性能方面也是关键。提到高性能，ADI微机械产品线高级应用工程师赵延辉也表示，当前很多应用对MEMS产品要求已经超过了简单的运动检测，而是要求其在各种极端环境下有稳定、可靠、高精度的输出。这就对MEMS传感器中的机械设计、电子设计、封装设计等都提出了很高的要求。ADI一直关注这些客户需求，并持续引领在这些方面的设计创新。比如ADI的最新一代陀螺仪，就采用了先进的四核差分传感器设计，这使得其振动抑制特性比前一代陀螺仪系列改善了一个数量级。同时，可以获得更好的噪声特性和零偏稳定性。