解析质检仪的光电读出原理

        现以测定显微物镜光轴与物镜螺纹轴线的同轴度为例，说明仪器的光电读出原理。

　　如图2所示，AA‘为显微镜的正确轴线（光轴与机械轴重台），A与A’是物像共轭点，设物面标志物为一个中心位于A的小圆孔，当显微镜使用过程中，物镜中心0产生了一个∠的横向位移时，则A点的像将由A‘移到A“，即像方产生∠’的位移，∠‘泌＝s’/s＝卩，卩为显微物镜的横向放大倍数。若在像平面上放置四象限硅光电池，如图2所示，由于圆形像光斑中心的偏移，则破坏了原来光电池四部分输出的平行状态，将四部分输出信号经过前置放大（PM）后，按下列规则进行逻辑运算：

　　

　　图1 光学原理图

　　值得强调指出，上述的“除法器”是针对质检仪鉴定后在使用过程中发现的不足而实施的重要改进。除法器的功能在于消除由于电网波动及环境因素所引起的误差，并使信号输出与入射光强无关，便于定标。