可用于高温恶劣环境下的MEMS气体检测模块介绍

Micro-Hybrid高温气体传感器基于NDIR测量原理。通常情况，气体检测模块工作在室温（最大温度为60℃）。而Micro-Hybrid气体检测模块的最高工作温度可达180℃，可以用于高温、高湿环境下测量气体浓度，如医疗、化学和生化过程控制。

- NDIR气体传感器
- 由Micro-Hybrid红外组件构成的完整系统
- 可以同时测量2种不同气体
- 最高工作温度可达180℃
- 最大工作湿度可达100%（工作温度可达60℃）
- 适用于恶劣环境

Micro-Hybrid高温气体传感器基于NDIR测量原理。通常情况，气体检测模块工作在室温（最大温度为60℃）。而Micro-Hybrid气体检测模块的最高工作温度可达180℃。

由于Micro-Hybrid的高温红外组件，所以气体检测模块是可以实现耐高温性能。热电堆探测器包含高效的BiSb / Sb热电偶，因此在高温下也能保持高灵敏度。MEMS红外光源由温度稳定、非晶、类金刚石的碳涂层构成，因此具有高薄膜温度，以及高辐射强度输出。红外光源和红外探测器使用特殊的组装技术，如焊料封接，以确保高温工作下的封装密封性。Micro-Hybrid气密封装技术保证在恶劣环境下使用红外组件的长期稳定性。此外，相比普通胶粘技术，焊料封接可避免外界气体渗入。

回填惰性气体，如氮气，使气体检测模块可以工作在寒冷的环境中，最低温度可至-35℃。通过不同的回填气体，可以调节红外探测器和红外光源的参数。例如，红外探测器的灵敏度提升可以通过回填具有低导热性的惰性气体来实现。使用相同的低导热性气体时，红外光源的功耗可以降低。Micro-Hybrid气体检测模块可以用于高温、高湿环境下测量气体浓度，如医疗、化学和生化过程控制，或者红外探测器被暴露在高温环境下的应用领域。