tem和sem的优缺点与区别

tem和sem的优缺点与区别,第1张

  SEM,全称为扫描电子显微镜,又称扫描电镜,英文名Scanning Electronic Microscopy.

  SEM:即扫描电子显微镜,是1965年发明的较现代的细胞生物学研究工具,主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态,即用极狭窄的电子束去扫描样品,通过电子束与样品的相互作用产生各种效应,其中主要是样品的二次电子发射。二次电子能够产生样品表面放大的形貌像,这个像是在样品被扫描时按时序建立起来的,即使用逐点成像的方法获得放大像。

  

  SEM的优点:

  (一) 能够直接观察样品表面的结构,样品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。

  (二) 样品制备过程简单,不用切成薄片。

  (三) 样品可以在样品室中作三度空间的平移和旋转,因此,可以从各种角度对样品进行观察。

  (四) 景深大,图象富有立体感。扫描电镜的景深较光学显微镜大几百倍,比透射电镜大几十倍。

  (五) 图象的放大范围广,分辨率也比较高。可放大十几倍到几十万倍,它基本上包括了从放大镜、光学显微镜直到透射电镜的放大范围。分辨率介于光学显微镜与透射电镜之间,可达3nm。

  (六) 电子束对样品的损伤与污染程度较小。

  (七) 在观察形貌的同时,还可利用从样品发出的其他信号作微区成分分析。

  SEM的缺点:

  ①异常反差。 由于荷电效应,二次电子发射受到不规则影响,造成图像一部分异常亮,另一部分变暗。

  ②图像畸形。 由于静电场作用使电子束被不规则地偏转,结果造成图像畸变或出现阶段差。

  ③图像漂移。 由于静电场作用使电子束不规则偏移引起图像的漂移。 ④亮点与亮线。 带电样品常常发生不规则放电,结果图像中出现不规则的亮点和亮线。

  TEM,全称为透射电子显微镜,又称透射电镜,英文名Transmission Electron Microscope.

  TEM:即透射电子显微镜,简称透射电镜,是把经加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上,电子与样品中的原子碰撞而改变方向,从而产生立体角散射。散射角的大小与样品的密度、厚度相关,因此可以形成明暗不同的影像。通常,透射电子显微镜的分辨率为0.1~0.2nm,放大倍数为几万~百万倍,用于观察超微结构,即小于0.2微米、光学显微镜下无法看清的结构,又称“亚显微结构”

  

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