1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求？

半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺，在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境，风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，最普通的万级区域环境建设参数一般如下（百级千级黄光区域要求更高）：

1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。

2、垂直流洁净室满布比不小于60%，水平单向流洁净室不小于40%，以防止局部单向流。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6、净化空调系统加热器设置新风，超温断电保护。

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一、基本要求

1、承担洁净厂房工程的施工企业，应具有相应工程施工资质及其等级，并应具有完善的质量管理体系。

2、洁净厂房的施工应按设计文件、合约的内容实施。当修改设计时，应经原设计单位的确认、签证，并得到建设单位的同意。

3、 洁净厂房施工前应根据具体工程项目的特点，制订施工方案和程序，做到各工种协调施工、阶段明确、交接清楚，确保整体施工质量和安全 *** 作。

4、 施工企业承担对洁净厂房工程内各专业设计图纸进行深化的施工详图设计时，应执行现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB50073的相关规定，并应加强设计质量管理，具有质量管理体系，施工详图应得到原设计单位的书面同意或确认，并得到建设单位的同意后，方能进行施工。

洁净厂房设计是重点 一个洁净厂房的设计必须具备可靠性、技术性、节能环保性、高质量等要求。整个洁净厂房的建造安装、维护管理、设备检修测试、安全运行是洁净厂房设计的重点。此外，洁净厂房设计除了符合国家规范，行业标准。

洁净厂房建筑平面布置和空间布置应根据产品的发展及生产工艺更新改造和扩大生产规模的要求来确定。洁净厂房宜于采用大跨度柱网，不宜采用内墙承重结构体系，这样便于适应工艺的变化和进行改造。洁净厂房围护结构应采用保温、防火、防潮、少产尘、易清洁的材料，要求可随意组装、可拆卸、可重复使用，如夹芯彩钢板就是洁净厂房围护结构最常用的材料。

洁净厂房的洁净区域不应该穿越变形缝、沉降缝，如工艺设计需要洁净区域面积很大必须设有变形缝时应采取相应的密封措施。

洁净厂房上、下技术层，技术夹道（竖向）应满足生产工艺、空调管道、动力、电、水专业的管道的要求。洁净生产层（工艺层）上部的技术夹层，一般用于净化空调系统的送风静压箱或安装循环送风的空调或FFU装置和风管以及动力管线，层高一般约3m（也有更高的）。洁净生产层（工艺层）活动地板和多孔板以下的下技术夹层，一般用于设置公用动力设施及管线，也是净化空调系统的回风静压箱，层高一般约4m（也有更高的）。这种形式的洁净厂房，一般规模大，产品生产工艺连续性强，自动化程度高，所以在进行建筑平面、空调布局和构造设计时，应与工艺设计、公用动力工程设计密切配合，充分满足生产工艺需要和各种公用动力管设施的安装维护要求，方便要求运行管理的建筑设计。这种设计形式属于垂直单向流或混合流洁净室。洁净室的技术夹道主要用于安装空气过滤器、干盘管、灯具、风管和各种公用动力管线，技术夹道的宽度应与各专业设计人员商量决定。

洁净厂房内的通道宽度应满足人员 *** 作和疏散、物料运输、设备安装和检修的要求，如个别工艺设备体积很大，可以让设备先就位再做内装隔断，也可以用活络隔断（可拆卸)留出大型设备进出的通道，便于大型设备的更新和检修。

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