el是什么级别

电子化学试剂按照纯度分为UP—S级、UP级、EL级三个等级. UP-S级:适用0.35-0.8微米集成电路加工工艺,金属杂质含量小于1ppb,经过0.05微米孔径过滤器过滤,控制0.2微米粒子,在100级净化环境中灌装达到SEMI C8标准. UP级:适用1微米集成电路及TFT-LCD制造工艺,金属杂质含量小于10ppb,经过0.2微米孔径过滤器过滤,控制0.5微米粒子,在100级净化环境中灌装,达到SEMI C7标准 EL级:金属杂质含量小于100ppb,控制1微米粒径粒子,达到SEMI C1 C2标准,适合中小规模集成电路及电子元件加工工艺

EL [el] \x0d\x0aabbr. 高度（=elevation）\x0d\x0ael英音：[el]美音：[ɛl] \x0d\x0ael\x0d\x0a名词 n. \x0d\x0a\x0d\x0a1.L形的东西\x0d\x0a2.(与正房成直角的)侧房\x0d\x0a3.【口】高架铁道\x0d\x0a\x0d\x0ael.\x0d\x0a缩写词 abbr. \x0d\x0a\x0d\x0a1.=elevation

PL:激发光源是激光，可以反应测试物质的内部结构，比如带隙，缺陷等 优点：对样品没损伤，可以多次测量 但是如果激光太强，还是会损坏表面结构的EL：电致发光，是靠注入电流的，测试样品的时候要加电极的，所以样品只能测试一次CL：电子激发。利用电子束激发半导体样品，将价带电子激发到导带，之后为达到能量稳定，被激发的电子又跃迁回价带，同时放出特征荧光谱，调节入射电子的能量，可以使电子进入到样品的不同深度，从而观测到样品表面以下的晶体缺陷信息。表面很容易被电子破坏。

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