2500平米的集成电路无尘车间，怎么做规划设计？

集成电路无尘车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室，对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等要求，相对其他工业洁净车间而言更加严格。IC产业无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点，因而可以选择将前后区分开，前区为人员 *** 作区(硅片暴露区)，后区为工艺设备接管区。这样洁净度要求高的区域的面积也会减少，可以减少整个系统的循环风量，降低能耗及工程造价。

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半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺，在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境，风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，最普通的万级区域环境建设参数一般如下（百级千级黄光区域要求更高）：

1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。

2、垂直流洁净室满布比不小于60%，水平单向流洁净室不小于40%，以防止局部单向流。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6、净化空调系统加热器设置新风，超温断电保护。

对于半导体这样高要求的无尘环境，推荐找CEIDI西递做全面的设计和施工，他们是洁净工程领域的EPC集成服务商，在无尘车间的建造方面已经有很多成功案例。题主大大采纳下我呗

具体管理制度要根据公司具体情况和生产状况来写了，但半导体行业生产车间管理无非从以下几个方面考虑

1.无论怎样，产品质量第一位，做好产品质量监控，产品生产状况监督与管理

2.根据生产计划进度情况监安排车间内各工位人员配备情况

3.车间内人员情绪与人员生产状态监督与管理

4.车间内可能有的潜在的安全与产品质量隐患的调查与管理

5.员工精神和生产状况与领导指示精神的及时上传下达。

大的框架是这些，具体细节还会与产品类型，公司文化等有关。不对之处望指正。

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