半导体晶圆卡盘的常见尺寸有哪些？

半导体晶圆静电卡盘有多种形状、尺寸和材料可供选择。它们通常是圆形的，比晶圆尺寸稍大。常见的尺寸范围从直径50毫米到超过300毫米。

大多数卡盘具有圆形(同心)环真空设计，并且通常会夹持小管芯、部分晶片和整个晶片。例如，150毫米(6英寸)卡盘将具有真空环图案，允许夹持单个芯片、50毫米、75毫米、100毫米和150毫米晶圆。 硅集成器件和电路的物理尺寸对晶片器件的处理施加了一定的限制。

在这方面，我们将开始与探针站的讨论，这是处理硅片或die芯片的关键设备，并为晶片探测提供了机械力学设备。 我们会向读者介绍通常用于射频和微波器件表征的共面波导探针。 测量装置的另一个重要部分是校准衬底基板，它允许我们在实际测量之前校准设置。

最后，我们会向读者介绍由探针站及其所有附件组成的整个测量装置以及矢量网络分析仪(VNA)。 不熟悉的读者可能认为这些设备微不足道，但它们在表征过程中起着至关重要和独特的作用。

在测试装置和测量仪器之间，使用晶片探针和任何其他同轴传输介质提供信号传播手段。 对于线性器件的宽带频域表征，我们通常使用矢量网络分析仪(VNA)作为选择的仪器。 在一个单一的测量设置中连接所有上述部分可能显得微不足道，但只有那些熟练的专家才能真正理解所有的技术细节。 本文的目的是引导读者通过微波微波表征过程，并介绍必要的设备。

日前，苏泊尔在辽宁的一家分公司被更名为“沈阳科勒卫浴有限公司”，高管也变更为科勒相关人士。该公司设计产能达2000万件，年产值约80亿元，这意味着科勒完成了一起扩产动作。无独有偶，另一巨头TOTO日前也披露了扩产计划，其宣布将在日本国内新建一家陶瓷制品生产工厂，为陶瓷业务提供产能支撑。

投资总额11.85亿，“苏泊尔”变“科勒”

据国家企业信用信息公示系统，辽宁苏泊尔陶瓷工业有限公司于2018年12月21日被批准变更为沈阳科勒卫浴有限公司，高级管理人员也变更为科勒相关人士，董事长为荷拔·科勒，董事为阮家明、大卫·科勒、王振颜及汤姆·埃德勒，总经理为欧阳美环，监事为满江红。

投资人由辽宁苏泊尔卫浴有限公司变更为科勒(中国)投资有限公司，投资总额变更为11.85亿元，注册资本3.95亿元，与此前辽宁苏泊尔卫浴有限公司对辽宁苏泊尔陶瓷工业有限公司的出资金额相吻合。

沈阳科勒卫浴有限公司的经营范围包括：卫生陶瓷、工业陶瓷、建筑陶瓷及配件制造、销售房屋租赁、车辆租赁卫生陶瓷半成品加工、卫生陶瓷原料加工、卫生陶瓷模具加工自营和代理各类商品和技术的进出口业务等。

公开资料显示，辽宁苏泊尔陶瓷工业有限公司规划总投资30亿元人民币，规划用地2000亩，建设20条高档卫生洁具生产线。全部投产后，企业年产量2000万件，年产值将达到80亿。其首条隧道窑在2014年4月启动点火。

科勒目前在全球范围内拥有约50家工厂，其中在中国有10多家，分布在北京、上海、佛山、珠海、中山、南昌、常熟等地。今年2月，科勒与常州市武进国家高新区签署协议，计划投资7500万美元、注册资本2500万美元的科勒项目落户该园区。

TOTO新建陶瓷工厂，发力新领域事业

扩产的还有TOTO。12月25日，TOTO宣布其全资子公司TOTOFineCeramics将在用地内兴建一栋新的陶瓷工厂，目的是为其陶瓷业务提供产能支撑。这是继今年4月TOTO宣布在泰国兴建新的智能马桶工厂以来，年内第二个扩产动作。

区别于卫浴业务，TOTO的陶瓷业务主要是生产特制陶瓷，供予半导体存储器等领域的生产企业。TOTO陶瓷业务主力产品为静电卡盘，其所使用的静电吸附技术是一种替代传统机械夹持、真空吸附方式的优势技术，在半导体、面板显示、光学等领域中有着广泛应用。

新工厂暂名“TOTOFineCeramics本社·中津工厂第4栋”，定位为静电卡盘量产工厂，计划投资约118亿日元(约人民币7.35亿元)，预计在2019年1月动工，2020年10月建成投产。TOTO指出，随着半导体存储器产业的发展，静电卡盘的需求量与日俱增，因此决定设立新的工厂。

近年TOTO积极发展新业务，开拓了陶瓷事业及环境建材事业，该公司将两者合称为“新领域事业”。在去年发表的中期计划中，TOTO为新领域事业定下了这样的目标：陶瓷事业销售额从2017年的202亿日元到2022年的370亿日元，环境建材事业销售额从2017年的90亿日元到2022年的130亿日元。

扩产背后是新一轮产业升级

生产能力是反映企业生产可能性的一个重要指标，生产能力越高的企业工厂规模也越高。近年，卫浴企业相继以并购、建立新总部、扩张生产线等方式进行产能建设。仅2018年，就有惠达、恒洁、帝欧、TOTO、怡和、骊住、山东美林、舜洁等大批企业推行了这方面的举措。

同时，行业大规模的集中扩产，也反映市场需求的旺盛。尤其是以智能马桶为代表的智能卫浴产品，今年更迎来产能的大规模爆发，多家企业的扩产计划均围绕智能卫浴来推行。

无论是扩大既有产品的产能，还是开拓新的领域，可以看到，这一股扩产浪潮有着智能化、信息化、工业化、自动化等特点，和国内制造业转型的大环境相契合，这对推动国内卫浴行业的转型升级有积极的作用，也是国内领军卫浴企业面临市场挑战下的新布局。

ESC,电子稳定控制系统很多品牌的汽车都有,只是各厂家的叫法不同而已,比如大众称其为ESP、本田叫VSA、丰田管它叫VSC,广义上的电子稳定控制系统称为ESC才严谨.electrostatic chuck静电卡盘[半导体加工]ESCape换码,扩展...

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