1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求？

半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺，在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境，风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，最普通的万级区域环境建设参数一般如下（百级千级黄光区域要求更高）：

1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。

2、垂直流洁净室满布比不小于60%，水平单向流洁净室不小于40%，以防止局部单向流。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6、净化空调系统加热器设置新风，超温断电保护。

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制定净化车间施工程序表：建设净化车间有先后的顺序，杜绝哪部分材料先到就先施工哪部分的极端错误做法，避免污染。允许同时施工的各部分要注意彼此间的衔接关系，必要时应绘制施工二次设计图。

高效过滤器的安装：净化车间安装高效过滤器之前，应彻底做好清洁工作，净化送、回风系统连接试运行24小时后，再次清洁洁净室后，立即安装高效过滤器。

洁净送、回风系统风管的施工：风管内表面必须平整光滑，风管安装之后、保温之前应进行漏风检查。风管与部件支、吊架的预埋件、射钉或膨胀螺栓的位置应正确，牢固可靠，埋入部分应去除油污，并不得涂漆。

设置专用仓储间：所有材料和设备说明书和合格证均应妥善保管，以便竣工验收后将资料完整的移交给用户。设备和材料到达净化车间施工现场时，应严格检查，各种过程器开箱检查后应重新封存。

做好净化车间的密封工作：洁净车间的气流要有序流动，按照设计者的意图流动，不该漏的地方绝对不能漏。很多人认为净化车间施工时为了平衡新风，要排掉一部分室内的空气，漏一点也无所谓，这种观点是不可取的。

其他事项：净化车间施工前对原有的建筑进行彻底的清扫和修补工作，对原有的门窗要做好密封工作。洁净车间超纯水和超纯气系统的安装必须请有资质的专业人员进行。

一施工顺序:

二，施工方法：

（1），安装前对基层表面灰尘，污垢，碱膜等物均应仔细清理干净。

（8），彩钢板隔墙装饰安装的工艺流程按“先下后上”的原则进行，以便减少修理，保护成 品。 （8），在板壁连接缝处同色密封胶密封。 （1），板壁安装后进行表面清洁。

三，质量要求：

（8），壁板安装要垂直，顶板安装要水平 （1），工艺缝均匀，密封胶要充实。

（9），板壁表面不得有划痕。

四，门、窗、暖气散热罩工程

（6），铝合金窗安装工艺流程：基层处理→房间规方→敷设地马槽→安装彩钢壁板→安装彩钢板顶板→圆弧角安装→净化门安装→工艺缝打密封胶→饰面清洁→保养→d线找规矩→洞口处理→附框安装→检查铝合金保护膜→铝合金→门窗安装→清理 （2），d线找规矩：从顶层用线坠吊垂线，对个别不直的口边作剔凿处理。门窗口的水平位置以+0.000m标高线为准，量出门窗下标高，d线找直，每樘门窗下标高应在同一水平线上。 （2），安装附框：根据铝合金门窗的外围尺寸，制作附框，按图示位置标高固定，吊垂直水平后，自钻钉固定。

（8），待门窗侧边贴完后，安装铝合金门窗框，把框吊垂直水平后，打眼，用自攻螺丝与附框固定，门窗框与墙面间隙用密封胶成八字角卧牢。宽窄平整一致，粘结牢固。 待室内初装修完后，安装铝合金门窗的五金，参照产品说明安装，要求固定牢固，使用灵活。

五，主要施工措施及施工关键点在洁净手术室施工中做到“物洁”“人净”“环清”。

“物洁”主要指通风系统本身每道工序均采取保洁措施，进场的机具，设备，材料均经过擦拭，所有构件皆为镀锌，所有预制通风管以及厂制品运输中都要塑料薄膜封口

“人净”指参与施工的工人应穿洁净的工作服与工作鞋和工作手套等。

“环清”指施工的工作环境，在施工全过程随时清扫垃圾和污物，保证风管配件和部件不受染。装配五金玻璃安装门窗密封条质量检查六．维护结构的安装必须满足下述要求：

1，洁净手术室的安装，应在粗装饰完成后的室内进行，室内空间必须干净，无积尘，并在施工安装过程中对零部件和场地随时清扫，擦净。，

2施工安装时，应首先进行吊挂锚固件等与主体结构和楼面，地面的连接和固定。

3，地面面层必须平整，其不平整度不大于0.15%，在做PVC地板及环氧自流平时应考虑与垂直壁板交接处的密封。

4，板壁安装前必须严格放线，墙角应垂直交接，防止累积误差造成壁板倾斜扭曲。壁板的垂直偏差不大于3%

5，墙面，吊顶应在受荷载后的使用过程中保持平整，吊顶周边应与墙体交接严密，密封。墙板和墙板之间，墙板与顶板，墙板与地面之间所有连接角大于90°元弧过度角。

6，各种配件和材料应存放在有维护结构的清洁，干燥的环境中，平整地放置在防澎膜上。

PVC地面施工方法

1、自流平水泥找平层地面，与原有水泥地面固定牢固。

2、表面打磨调平。

3、地面清理干净刷沾接剂，铺设PVC卷材压平。4、接缝焊接

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