半导体用的石英管为什么需要低铝含量

半导体中，石英管通常用于高温环境下的热氧化或热扩散。要求低铝含量的原因如下：

1、热氧化热扩散主要是半导体器件形成源漏结的关键步骤，不能有金属离子污染。

2、高温环境可达1000多摄氏度，铝容易硅化，会造成器件结区损伤，容易漏电。

石英管的物理、化学性能 石英玻璃管是用二氧化硅制造的[1]特种工业技术玻璃，是一种非常优良的基础材料。石英玻璃具有一系列优良的物理、化学性能，如： 1、耐高温石英玻璃的软化点温度约1730℃，可在1100℃下长时间使用，短时间最高使用温度可达1450℃， 2、耐腐蚀除氢氟酸外，石英玻璃几乎不与其他酸类物质发生化学反应，其耐酸能力是陶瓷的30倍，不锈钢的150倍，尤其是在高温下的化学稳定性，是其他任何工程材料都无法比拟的。 3、热稳定性好石英玻璃的热膨胀系数极小，能承受剧烈的温度变化，将石英玻璃加热至1100℃左右，放入常温水中也不会炸裂。 4、透光性能好石英玻璃在紫外线到红外线的整个光谱波段都有较好的透光性能，可见光透过率在93％以上，特别是在紫外光谱区，最大透过率可达80以上。 5、电绝缘性能好石英玻璃的电阻值相当于普通玻璃的一万倍，是极好的电绝缘材料，即使在高温下也具有良好的电性能。 石英玻璃由于具有上述优良的理化性能，因此被广泛的应用于电光源、半导体、光通信、军工、冶金、建材、化学、机械、电力、环保等各个领域。(资料仅供参考!) 石英管的种类石英管大致可分为以下几种：透明石英管（外径1.5mm--300mm）、滤紫外石英管、彩色石英管等。

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