半导体工艺废气如何高效处理?

半导体工艺废气如何高效处理?,第1张

√ 楼主您好,根据您提出的问题,下面为您做详细解答:

半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分,在工艺过程中,这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs,同时废气中还混合了HCl、氨、HF等危险污染物,分离和处理难度比较大。

半导体酸废气处理方法

半导体酸废气处理通常采用碱液体喷淋法,又称化学洗涤法。因液体自身具有的溶解特性,可以更好地捕捉沉降,溶解去除污染物,而达到大气排放标准,故喷淋法是半导体行业酸碱废气治理普遍采用的主要处理方法。

新材料行业半导体废气处理的方法

RTO蓄热式焚烧炉设备,简称“RTO设备”,是采用高温破坏焚烧的废气治理技术。采用的升温能源一般是电和天然气,虽然采用高温700℃的温度进行废气处理,但其实消耗的能源并不多,这是因为设备能够将热能回收利用,大大降低能量消耗的同时提高了废气分子的燃烧反应速率。设备的主体由燃烧室、陶瓷填料床和转换阀等构成。设备的净化效率也维持稳定在99%以上。

半导体行业废气处理方法以及对比

半导体行业有机废气处理方法,通常先用沸石转轮对VOCs进行吸附浓缩之后,再用直接燃烧法进行销毁,废气净化率达到97%以上。

直接燃烧又称为直接火焰燃烧,它是把VOCs可燃组分直接烧掉,因此该方法适用于净化可燃有害组分浓度较高的废气,或者净化有害组分燃烧时热值较高的废气;多种可燃气体或多种溶剂蒸气混合在废气中,只要浓度值适宜,也可以直接燃烧。如果可燃组分的浓度高于燃烧上限,可以混入空气后燃烧;如果可燃组分的浓度低于燃烧下限,则可以加入一定数量的辅助燃料如天然气等,维持燃烧。

希望此次回答对您有所帮助!

随着半导体材料的的不断发展,到上个世纪50年代,我们的制冷器从单纯的实验室研究逐渐走上工程实践进而进入市场,进入21世纪,人们对生活的要求越来越高,空调逐渐走进人们的视线,而半导体制冷空调作为成熟的产品受到人们的热捧,那么哪些厂家的半导体制冷空调比较好呢,下面小编就给大家详细介绍几家半导体制冷空调的生产厂家。

一、杭州转轮除湿设备有限公司

厂家简介:杭州转轮除湿设备有限公司成立于2008年02月01日,注册资金为人民币300万元,其公司紧挨着多条高数公路,交通非常便利,产品销往全国多个省市,该公司的主打产品转轮除湿机更是得到消费者的高度认可。

主营产品:茶叶设备、调温除湿机、恒温恒湿空调机、酒窖专用空调机、除湿加湿一体机、工业除湿机、转轮除湿机、加湿机、家用商用除湿机、高温型除湿机

推荐产品:高标准高精度调温恒湿空调

型号:CFH-S系列

价格:¥32800.00

  地址:浙江 杭州 拱墅区

  二、上海全锐电器设备有限公司

厂家简介:上海全锐电器设备有限公司成立于2010年01月19日,是一家集设计、研发、生产、销售以及售后服务于一体的新型机电公司,其主要生产方向为工业空调以及自动化控制装置,其产品畅销全国各地。

主营产品:机柜空调型号、风扇过滤器型号、热交换器型号、全锐风机系列型号、台湾卡固KAKU风机及滤网、机柜文件夹、温度控制器

  推荐产品:控制柜空调

  型号:EA300

价格:¥2250.00

地址:上海 金山区

三、佛山市依恳丰机电设备有限公司

  厂家简介:佛山市依恳丰机电设备有限公司成立于2008年12月24日,是一家专门生产热交换机以及配套设施的企业,其公司先进的生产设备和一流的技术为公司的发展墓定了坚实的基础。

主营产品:热泵钣金、暖风机、冷凝器机组、蒸发器、全铜换热器、净化干盘管、热交换器、换热制冷空调设备

  推荐产品:加工中央空调

  型号:各种型号定做

  价格:¥6800.00

地址:广东 佛山 南海区

以上就是小编为大家推荐的关于在半导体制冷空调方面做的比较好的一些企业代表,他们在生产设备和技术上都是国内比较靠前的,我们在选择这方面产品的时候可以参考小编给大家推荐的这几家,小编还是建议大家在消费的时候先上网查阅相关信息再下订单。

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