半导体行业超纯水质量会有哪些要求?

　超纯水的应用领域涵盖了整个电子行业，还有许多新能源行业也有涉猎，比如我们常说的芯片、半导体、光伏等等。今天我们主要来说一下半导体领域中超纯水的应用。在半导体生产中，超纯水都会被应用在哪里?答案是在晶圆冲洗、化学品稀释、化学机械研磨、洁净室环境中都会应用到。那么，质量会有哪些要求?虽然每个行业都使用所谓的“超纯水”，但质量标准却各不相同。半导体所用的超纯水需要达到的水质标准为：我国电子工业部电子级水质技术标准(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五级标准)、我国电子工业部高纯水水质试行标准、美国半导体工业用纯水指标、日本集成电路水质标准、国内外大规模集成电路水质标准。

1）打开电源

2）查电极电压

3）确保电极连接正常

4）确保电极极性正确

重新调节浓水、极水和进水压力

检查RO产水品质，尤其是TDS、CO2等

清洗模块

重新调整扭矩

检查进水中的有机污染物浓度，是否有前置过滤器防止杂质进入EDI；

增加进水流速；

注意进水温度时水的粘度

调节阀门增加流量

检查RO产水中的TDS、硬度、pH值

确定有水流过组件，否则模块会被损坏

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