光学轮廓仪厂家选择RTEC如何？

光学轮廓仪，目前国内我们是一个有口皆碑的品牌。SuperView系列光学3D表面轮廓仪以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。

SuperView系列光学3D表面轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

产品编号： 6101461516

产品名称： NewViewTM6300三维表面轮廓仪

规 格： 美国Zygo NewViewTM6300

产品备注： NewViewTM6300三维表面轮廓仪

产品类别： 光学仪器

产 品 说 明

这是一款精密定量，测量灵活的三维表面轮廓仪。其表面测量技术对于生产和研究领域的某些过程控制至关重要。

NewView6300可以以完美的精度提供样品表面粗糙度，步高，关键部分尺寸 ，以及其他面形特征的图形和数值结果。所有的测量过程都不会破坏样品，测量速度快，并且样品无需特殊处理。样品纵向分析的范围自小于1nm直至15000μm，基于专利的扫描技术，NewView6300的纵向分辨率可以达到0.1nm，此分辨率不受样品纹理，物镜放大率以及高度特性的影响，每次测量只需一次扫描！这就是今天ZYGO提供的具有最高分辨率，最高精确度的功能齐全的测量仪。

高速，非接触的测量方法

亚纳米级的Z轴分辨率

台阶高度测量达到15mm

使用简捷，高性价比

高性能的光写成像系统

NewView6300出色的光学性能和图形质量,塑造了ZYGO公司在光学设计和制造上的良好形象并积累了大量宝贵的相关经验.标准化配置包括一个6档位的缩放系统。更可提高对样品的3D分析能力。ZYGO公司提供各种放大率的物镜 ,它包括从1.0X至100X的放大率,还有用于扩展工作距离的物镜等.物镜可以很容易的安装在一个6工位的手动或者自动塔台，也可以使用快速装卸的适配器。NewView6300可以分辨亚微米级的XY平面面形，整个测量区域最大可达到100mmX100mm，如果使用图像拼接功能，还可以分析更大的范围，NewView6300可以在需要达到您要求的测量范围和分辨率，如今，测量范围和分辨率都不是问题。

NewView6300可以在满足要求的环境下提供高速，稳定高重复率的测量。ZYGO一如既往地保证扩展测量的准确度以及各个零部件的良好性能。整个系统的准确度可以很容易地使用美国国家仪器标准测量局NIST提供的标准块进行验证。

NewView6300配备ZYGO公司的MetroProTM测量软件，提供三维或者两维的数据分析，图形，以及应用程序选择。MetroProTM友好的 *** 作界面包括自动控制，密码保护，统计数据，可编程的脚本，个性化的界面，可自行设置的合格/不合格的标准等等。您也可以通过使用可选组件而使效率最大化，这些组件包括：一个五轴的自动化平台，自动聚焦，自动塔台等。

NewView6300为您提供全方位的技术来满足您的测量需要，为您的发展提供强大动力。

技术指标

NiewView6300

系统

原理 专利的白光扫描干涉仪

物镜 1X，2X，2.5X，5X，10X

20X，50X及长焦物镜

图像缩放 标准，6档位，0.5X，0.75X，1.0X，1.5X，2.0X

视场 0.04-17.5mm，使用拼接功能可获得更大范围；跟物镜有关；可参看物镜指标

光源 长寿命的白光LED

测量列阵 640x480像素，也可以选择更高分辨率

样品平台 可选择手动或者自动平台。标准得Z轴方向的移动范围是100mm

手动型:±6o tip/tilt,±2in.X/Y

自动型:±4o tip/tilt,±3in.X/Y

扫描装置 低噪电容传感器的闭环反馈压电陶瓷

性能

纵向分辨率 可到 0.1nm

横向分辨率 0.45 to 11.8um

扫描速度 <=85um/s

台阶测量准确度 <=0.75%

台阶测量重复率 <=0.1%,1sigma

纵向扫描范围 可到 15mm