在半导体行业中的敏感负载有:厂务排风系统(洁净室)、PCW工艺水、UPW超纯水系统;光刻机;离子注入机;刻蚀机;机台控制系统等。这些系统或负载遇到电压暂降之后,会受到不同程度的影响;严重时会导致整条生产线所生产的芯片报废,给企业带来巨大的经济损失。
电压暂降的危害不仅仅是生产流程中断造成的直接经济损失,还会出现成品率降低、延迟交货、和设备寿命的降低;晃电事故严重的话,时还会影响企业在客户心中的信誉度,从而导致的客户流失等。
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在半导体行业中的敏感负载有:厂务排风系统(洁净室)、PCW工艺水、UPW超纯水系统;光刻机;离子注入机;刻蚀机;机台控制系统等。这些系统或负载遇到电压暂降之后,会受到不同程度的影响;严重时会导致整条生产线所生产的芯片报废,给企业带来巨大的经济损失。
电压暂降的危害不仅仅是生产流程中断造成的直接经济损失,还会出现成品率降低、延迟交货、和设备寿命的降低;晃电事故严重的话,时还会影响企业在客户心中的信誉度,从而导致的客户流失等。
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