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http://wenku.baidu.com/link?url=M3O-OfqxY71W0tBFENqwzDr4VLFwnP8NCUC7rrduKbqeXKPOX74y0mGKe1wDWxaEEk0KIawl27pZiC4vyqSMTyKmXPWKoMrJgUwczonGl-S
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http://zhidao.baidu.com/question/332637709.html?前面两个是百度文库的,你看看,这个是之前有人回答过的,你可以找她要。qbl=relate_question_1&word=%B0%EB%B5%BC%CC%E5%C6%F7%BC%FE%CE%EF%C0%ED%D3%EB%B9%A4%D2%D5%20pdf前一本就可以了.<<半导体制造技术》is better《半导体制造技术》比较好而另一本则讲的太简单了,不过《半导体制造技术》有的东西有点过时,要多注意啊我只看过第一本,就当科普了。我有《半导体制造技术》, 初学者很好我也推荐后者,第一本我看过,过于科普:(后一本吧,前一本简单。LZ只是为了基础了解,估计也是刚入门或者半导体行业里的其他工种。不需深究,第一本即可。第二本还算比较专业啦。个人认为半导体制造技术要好一些《半导体制造技术》半导体技术后者好 我就是看的这本书入门看前者,进阶看后者。各取所需。嗯,我也觉得后者好,我正在看,介绍的还是不错的~如果你像我一样进了民营5寸线,那他都不存在过时的问题了i really think the later is better.if you will buy one,the English edition is better.后一本比较好吧,我刚买了一本后一本好一些!另外,能买到台湾一些高校编的工艺教材,讲的也是很好的
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