1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求?

1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求?,第1张

半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺,在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,最普通的万级区域环境建设参数一般如下(百级千级黄光区域要求更高):

1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。

2、垂直流洁净室满布比不小于60%,水平单向流洁净室不小于40%,以防止局部单向流。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6、净化空调系统加热器设置新风,超温断电保护。

对于半导体这样高要求的无尘环境,推荐找CEIDI西递做全面的设计和施工,他们是洁净工程领域的EPC集成服务商,在无尘车间的建造方面已经有很多成功案例。题主大大采纳下我呗

本章主要介绍金属壁板开关插座安装工艺步骤。.2) 开关插座定位:根据设计图纸和各专业图纸综合确定后,在图纸上标出开关插座的安装位置,完成上述工作后将位置图提交结构专业进行排版计算,以便厂家生产加工。3) 壁板上尺寸定位:根据结构综合排版设计的图纸及电气施工图纸,在金属壁板上用记号笔标出开关插座的具体安装位置。开关安装位置应符合规范要求,距门边一般为150mm~200mm;距地面一般为1.3m;插座安装高度一般无特殊情况的为距地面300mm。4) 壁板开口加工:壁板开口加工时应注意保护壁板的表面,以免划伤。开口时应保证切口的整齐,完成切割后的开关插座位置应进行处理,保证切口边缘无毛刺。5) 接线盒安装:接线盒安装时应对壁板内的填充物进行处理,并将厂家预埋在壁板内的线槽、线管的进线口做好处理,以便电线敷设。壁板内安装的线盒应选用86型H40的镀锌钢制的,在线盒的底部、周边均应密封,防止漏风造成洁净间的污染。6) 回路穿线接线:根据图纸设计的回路控制要求,进行穿线,穿线时必须加装护口,保护好导线的绝缘层。在穿线工作完成后,就进入接线的工作程序,首先应注意电线剥皮的长度不得超过开关及插座接线端子的压接范围,压线的时候应注意确认是否压接牢靠,应杜绝虚接、压接不实等故障隐患,压接完成后应逐个检查是否有虚接及绝缘的情况。7) 开关插座安装:开关插座安装时应防止电源线被压伤,开关插座安装应牢固、水平,多个开关安装在同一平面时,相邻的开关距离应一致,一般相距10mm,开关插座经调整后应密封。8) 绝缘摇测:上述工作完成后就需要进行绝缘摇测,绝缘摇测值应符合规范及设计要求,最小绝缘值不得小于0.5兆欧,摇测绝缘时应以每分钟120转的速度进行摇测。9) 通电试运行:首先测量回路进线相间及相对地的电压值是否符合设计要求,再合上配电柜的总开关并加载全文举


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