半导体厂常见的事故有哪几大类

半导体厂常见的事故有哪几大类,第1张

生产线事故,伤人事故生产线的事故原因有很多,比如突然断电,正在光刻的晶圆基本上就报废了,什么涂胶的,腐蚀的全都报废。而且生产线只要一停,每分钟的损失都是剧额的,尤其是光刻机。为了曝光稳定,基本从买来到报废都不能关机和断电,中途停下来再开始很多参数就变了伤人事故一般是有毒气体或者易燃易爆气体泄漏引起的爆炸和中毒,什么硅烷,砷化氢,基本上所有用于化学气相沉积CVD的气体都不是什么好东西

这要看你是做什么工作、以及你是怎么工作的。譬如搞清洗、腐蚀、电镀等工作,如果防护条件不好或者自己不注意防护,那就容易慢性中毒;如果常用高频加热设备,而又不知道怎么防护,那就容易受到电磁污染;如果是做P、As扩散或者化合物半导体工艺(特别是化合物半导体片的磨、抛工艺),就需要特别防止中毒。不过,现在一般的单位都比较注意人身安全,只要自己注意,还是不会有什么问题的。再说,就是搞电路设计的工作,也难免有环境污染(特别是显像管的x线辐射)。其实,室内或者室外的环境条件倒是很值得注意的。

单晶硅

当前开发得最快的一种太阳电池,它的构成和生产工艺已定型,产品已广泛用于宇宙空间和地面设施。这种太阳电池以高纯的单晶硅棒为原料,纯度要求99.999%。为了降低生产成本,现在地面应用的太阳电池等采用太阳能级的单晶硅棒,材料性能指标有所放宽。

2.多晶硅片

单晶硅太阳电池的生产需要消耗大量的高纯硅材料,而制造这些材料工艺复杂,电耗很大,在太阳电池生产总成多晶硅片本中己超二分之一,加之拉制的单晶硅棒呈圆柱状,切片制作太阳电池也是圆片,组成太阳能组件平面利用率低。

3.是否有毒

譬如搞清洗、腐蚀、电镀等工作,如果防护条件不好或者自己不注意防护,那就容易慢性中毒

如果常用高频加热设备,而又不知道怎么防护,那就容易受到电磁污染如果是做P、As扩散或者化合物半导体工艺(特别是化合物半导体片的磨、抛工艺),就需要特别防止中毒。

不过,现在一般的单位都比较注意人身安全,只要自己注意,还是不会有什么问题的。再说,就是搞电路设计的工作,也难免有环境污染(特别是显像管的x线辐射)。其实,室内或者室外的环境条件倒是很值得注意的。


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