封装行业中map中的gide是什么意思

封装行业中map中的gide是什么意思,第1张

火车上,提交的时候断网了,又要输一遍,悲催啊!!!

这个shot map不是封装的术语,纯粹是光刻的,而且是只针对投影式步进光刻的。

在stepper光刻机中,reticle的图形被缩小投影到wafer表面,曝光wafer上的光刻胶。reticle一般尺寸是5寸或者6寸,而缩小的倍率一般是4倍或者5倍,最后得到的曝光范围是小于50mm的,一般是30mm左右见方。而对于wafer,从2寸到12寸,一次投影是不能完成整个面积的,必须要多次投影曝光才能覆盖整个wafer。

shot,指的就是一次投影曝光,很形象的命名,就像照相机在照相的时候闪光灯flash一下。

map,半导体领域常用于表示某种分布,也是很形象的命名,用的很广泛。

shot map,顾名思义,多次投影曝光在wafer上的分布。不同的产品,分布是不同的,甚至shot也是不同的,所以需要综合考虑。

重庆市北碚区悦复大道288号。

经查阅百度地图显示重庆万国半导体二期地址在重庆市北碚区悦复大道288号。

重庆万国半导体科技有限公司(以下简称重庆万国)目前主要从事功率半导体芯片制造与封装测试,致力发展成为集功率半导体设计、研发、制造。


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