半导体封装中常运用plasma,那么是不是所有的plasma的功能一样的呢?plasma etch只是去除异物吗?

半导体封装中常运用plasma,那么是不是所有的plasma的功能一样的呢?plasma etch只是去除异物吗?,第1张

我不是做封装的,不过我经常用RIE(Reactive Ion Etch)

原理就是用各种气体的plasma来对半导体芯片进行蚀刻

不同气体的plasma的作用是不一样的~你说的除去异物的那种,我估计应该是氧气(O2)或者氩气(Ar)吧?

激活表面这个说法我还真没有听说过。。

个人觉得不会。。1是觉得没有必要,2是因为没有mask的话,直接上plasma进行对芯片本体的结构处理是很危险的。。有可能会损坏原有的构造,导致芯片损毁

点胶机设备,就是在半导体、芯片、通讯产品等表面点、涂胶水,根据特定的产品设定配套的路径编程,以便实现更好粘接效果的一种自动化点胶设备,具有点、线、面、圆弧、不规则曲线连续补间等功能。

点胶机又称涂胶机、滴胶机、打胶机等,是专门对流体进行控制,并将流体点滴、涂覆于产品表面或产品内部的自动化机器。点胶机主要用于产品工艺中的胶水、油漆以及其他液体精确点、注、涂、点滴到每个产品精确位置,可以用来实现打点、画线、圆型或弧型。高速连续点胶稳定/适应范围广。

普通型点胶机

1、 控制器式点胶机:

包括自动点胶机、定量点胶机、半自动点胶机、数显点胶机、精密点胶机等。

2、 桌面型点胶机:

包括台式点胶机、台式三轴点胶机、台式四轴点胶机、或者桌面式自动点胶机、3轴流水线点胶机、多头点胶机 、多出胶口点胶机、圆形点胶机、旋转轴点胶机、喇叭点胶机、手机按键点胶机、机柜点胶机等。

自动型点胶机

1、 落地式自动点胶机

2、 喷涂式自动点胶机(此点胶机采用喷胶阀,在线式作业,主要用于PCB板三防漆喷涂,起到防尘,防潮,绝缘作用)

3、 导电胶自动点胶机(此点胶机与普通点胶机区别之处在于,所点出来的导电胶切面呈三角形分布状态,主要用于电磁屏蔽点胶)

4、荧光粉喷射式点胶机,(此点胶机主要用于LED行业)

双Y轴COG点胶机

此类点胶机包括两个运动平台,传统点胶机一般只含一个运动平台。每个运动平台一般可配5个以上点胶头,实现点胶效率跨越式提升!适用于LCD,液晶模块精密点胶,在手机液晶屏,PDA等液晶屏领域应用最为广泛!

非标类

即按照客户产品工艺的某些特殊要求,单独定做,此类点胶机往往开发成本较高!随着电子胶水的普遍应用,点胶设备的应用也会更加广泛和多样化。单组份的点胶技术相对成熟,其发展方向是自动化流水线和高精度点胶工艺。

在普通的点胶机,如一些点胶控制器,国内的模仿技术已经很成熟,市场竞争十分激烈,价格一落千丈,甚至几百的机器都已经出现。但是国内的点胶机普遍存在精度不高,打胶不够稳定现象,一些高科技行业,说到选购点胶机,肯定只能找世界品牌。所以,在高精度这块,有待各位有志之士进一步努力呀。当市场竞争激烈,唯有质量和服务能够让自己脱颖而出。在自动化这块,国内的三轴平台,圆周点胶机等等已经有多年的发展历史,如果只是普通的精度,那么使用国内点胶机和平台就可以了。从事这些单组份设备的生产和研究的厂家也比较多,市场竞争逐渐激烈,不过可以挖掘的空间还是十分之大。

而对于双组份的点胶设备,这可是一个远未成熟的领域:国际上稍微可以一点的点胶机,动辄十几万几十万,让许多厂家望而止步。而国内的双液机技术还有很大差距,价格稍微低些,然而产品质量还有待进一步改进。随着AB胶的日益广泛使用,灌胶等等工艺的要求也会更高,双液点胶机是点胶机行业另外一个极具潜力的开发领域。期待各位有志之士的努力。

主要品牌

美国:EFD、Asymtek、CAMALOT、LCC等;德国:scheugenpflug 等;

亚洲:益达(YD)世椿(second)、欧力克斯(olks)、axxon 轴心自控、YAMAHA、东莞胜翔

(SX)、瑞兴高科(RX)、迪麦、武藏MUSASHI 、韩国阿尔帕、日本仲氏NLC、赛恩斯(SES)、中国欧宝(oupel)、AXXON轴心自控等;

中国:

益达(YD)世椿(second)、欧力克斯(olks)、东莞胜翔(SX)、欧宝(oupel)、赛恩斯(SES)、特盈(twin)、深圳博莱特(bright)、瑞兴高科(RX)、AXXON轴心自控等。


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