什么化学剂可以把抛光后的半导体中硅半导体硅片洗干净？

1 NH3•H2O（氨水）：H2O2（双氧水）：去离子水=1：1：5浸泡（70~80度）

2 HF：去离子水=1：20浸泡。3 HCL（盐酸）：H202（双氧水）：去离子水=1：1：5浸泡（70~80度）。

中硅高科是拥有自主知识产权的多晶硅生产企业，工艺技术具有能量综合利用、物料闭路循环两大特点，符合大规模、低单耗、高品质、清洁生产的发展方向。使用该工艺生产的多晶硅质量稳定可控，可根据客户要求提供不同等级、不同形态的产品。中硅高科以市场为导向，用技术创新持续推动产业化、规模化，提高企业综合竞争力。

公司承担的国家“863”科技攻关项目——“24对棒节能型还原炉成套装置”研究，于2007年3月31日顺利通过国家科技部的验收。它的研制成功，解决了我国千吨级多晶硅产业化的核心技术，标志着中硅公司自主研发的、具有自主知识产权的多晶硅生产集成新工艺取得了新的进步。公司整套多晶硅生产工艺技术符合国家安全环保、节能减排走可持续发展道路的要求，为实现我国多晶硅生产规模化发展奠定了坚实的基础。

公司一期年产300吨多晶硅项目是国家和省市“十·五”期间半导体硅材料产业的重点建设项目，于2003年6月28日开工兴建，2005年12月建成投产。

以年产300吨多晶硅项目为依托，公司于2005年12月18日开工兴建二期年产700吨多晶硅项目。该项目是国家和省市“十一·五”期间重点建设项目，于2007年5月建成投产，目前偃师子公司年产1000吨多晶硅生产线运营正常。

公司三期年产2000吨多晶硅工程，于2006年12月18日在洛阳市洛龙区开工建设，2008年11月建成投产，中硅公司形成年产3000吨多晶硅的能力，2009年达产。

公司四期年产2000吨多晶硅工程，已于2007年12月18日在洛阳市洛龙区三期工程的基础上开工建设，2010年建成投产，目前中硅公司已经形成年产5000吨多晶硅的能力，预计2010年产量为4000吨。

中硅高科目前正在进行5000吨技改扩建项目，计划2011年底投产，届时太阳能级及电子级多晶硅产能将达到10000吨左右。