求高人解答:Dry pump,cryo pump,TMP的区别及各自的优缺点,谢谢!

求高人解答:Dry pump,cryo pump,TMP的区别及各自的优缺点,谢谢!,第1张

pumping区别来说,根据性能不同,Dry pump 只能抽低真空,从标准大气压抽到10的负一次方,价格便宜,不过为了速度及TIME一般需要多台一起运行。cryo pump 冷凝泵,可以抽高真空,一般为了性能及能效,需要配合先用Dry pump抽到低真空然后再cryo pump 启动来抽到高真空,可以抽到10的负五次方,价格贵。TMP pump的话是抽超高真空的,可以达到10的负十二次方超高真空,价格肯定是更贵的。看需要的真空环境选用pump

do not run pump dry

不要运行泵干

pump

英 [pʌmp] 美 [pʌmp]

n.

泵 打气筒 轻软舞鞋 轻便帆布鞋(英式英语)

vt.&vi.

用抽水机汲水 给…打气 用泵(或泵样器官等)输送 涌出

vt.

用泵抽 注入,似用泵来拉、转或倒 抽水,从。。除去水 骑自行车的人上下蹬踏板

网络

高跟鞋 帮浦 电荷泵


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