求高人解答：Dry pump,cryo pump,TMP的区别及各自的优缺点，谢谢！

pumping区别来说，根据性能不同，Dry pump 只能抽低真空，从标准大气压抽到10的负一次方，价格便宜，不过为了速度及TIME一般需要多台一起运行。cryo pump 冷凝泵，可以抽高真空，一般为了性能及能效，需要配合先用Dry pump抽到低真空然后再cryo pump 启动来抽到高真空，可以抽到10的负五次方，价格贵。TMP pump的话是抽超高真空的，可以达到10的负十二次方超高真空，价格肯定是更贵的。看需要的真空环境选用pump

do not run pump dry

不要运行泵干

pump

英 [pʌmp] 美 [pʌmp]

n.

泵 打气筒 轻软舞鞋 轻便帆布鞋（英式英语）

vt.&vi.

用抽水机汲水 给…打气 用泵（或泵样器官等）输送 涌出

vt.

用泵抽 注入，似用泵来拉、转或倒 抽水，从。。除去水 骑自行车的人上下蹬踏板

网络

高跟鞋 帮浦 电荷泵

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