半导体功率器件静态参数测试仪系统 & 能测 IGBT. Mosfet. Diode. BJT......

半导体功率器件静态参数测试仪系统 & 能测 IGBT. Mosfet. Diode. BJT......,第1张

DCT2000半导体功率器件静态参数测试仪系统能测试很多电子元器件的静态直流参数(如击穿电压V(BR)CES/V(BR)DSs、漏电流ICEs/lGEs/IGSs/lDSs、阈值电压/VGE(th)、开启电压/VCE(on)、跨导/Gfe/Gfs、压降/Vf、导通内阻Rds(on))。

测试种类覆盖7 大类别26分类,包括“二极管类”“三极管类(如BJT、MOSFET、IGBT)”“保护类器件”“稳压集成类”“继电器类”“光耦类”“传感监测类”等品类的繁多的电子元器件。

高压源标配1400V(选配2KV),高流源标配100A(选配40A,200A,500A)

控制极/栅极电压40V,栅极电流10mA

分辨率最高至1mV / 1nA,精度最高可至0.5%

DCT2000半导体功率器件静态参数测试仪系统适用于功率器件测试还可测试“结电容”,支持“脉冲式一键加热”和“分选机连接”

第一部分:规格&环境

1.1、 产品信息

产品型号:DCT2000

产品名称:半导体功率器件静态参数测试仪系统

1.2、 物理规格

主机尺寸:深660*宽430*高210(mm)

主机重量:<35kg

1.3、 电气环境

主机功耗:<300W

海拔高度:海拔不超过4000m;

环境要求:-20℃~60℃(储存)、5℃~50℃(工作);

相对湿度:20%RH~75%RH (无凝露,湿球温度计温度 45℃以下);

大气压力:86Kpa~106Kpa;

防护条件:无较大灰尘,腐蚀或爆炸性气体,导电粉尘等;

电网要求:AC220V、±10%、50Hz±1Hz;

工作时间:连续;

第二部分:应用场景和产品特点

一、应用场景

1、 测试分析 (功率器件研发设计阶段的初始测试,主要功能为曲线追踪仪)

2、 失效分析 (对失效器件进行测试分析,查找失效机理。以便于对电子整机的整体设计和使用过程提出改善方案)

3、 选型配对 (在器件焊接至电路板之前进行全部测试,将测试数据比较一致的器件进行分类配对)

4、 来料检验 (研究所及电子厂的质量部(IQC)对入厂器件进行抽检/全检,把控器件的良品率)

5、 量产测试 (可连接机械手、扫码q、分选机等各类辅助机械设备,实现规模化、自动化测试)

6、 替代进口 (DCT2000半导体功率器件静态参数测试仪系统可替代同级别进口产品)

二、产品特点

1、程控高压源10~1400V,提供2000V选配;

2、程控高流源1uA~100A,提供40A,200A,500A选配;

3、驱动电压10mV~40V

4、控制极电流10uA~10mA;

5、16位ADC,100K/S采样速率;

6、自动识别器件极性NPN/PNP

7、曲线追踪仪,四线开尔文连接保证加载测量的准确

8、通过RS232 接口连接校准数字表,对系统进行校验

9、不同的封装形式提供对应的夹具和适配器(如TO220、SOP-8、DIP、SOT-23等等)

10、半导体功率器件静态参数测试仪系统能测很多电子元器件(如二极管、三极管、MOSFET、IGBT、可控硅、光耦、继电器等等);

11、半导体功率器件静态参数测试仪系统能实现曲线追踪仪(如击穿电压V(BR)CES/V(BR)DSs、漏电流ICEs/lGEs/IGSs/lDSs、阈值电压/VGE(th)、开启电压/VCE(on)、跨导/Gfe/Gfs、压降/Vf、导通内阻Rds(on) )

12、结电容参数也可以测试,诸如Cka,Ciss,Crss,Coss;

13、脉冲电流自动加热功能,方便高温测试,无需外挂升温装置;

14、Prober 接口、Handler 接口可选(16Bin),连接分选机最高效率1h/9000个;

15、半导体功率器件静态参数测试仪系统在各大电子厂的IQC、实验室有着广泛的应用;

第三部分:产品介绍

3.1、产品介绍

DCT2000半导体功率器件静态参数测试仪系统是由我公司技术团队结合半导体功率器件静态参数测试仪系统的多年经验,以及众多国内外测试系统产品的熟悉了解后,完全自主开发设计的全新一代“半导体功率器件静态参数测试仪系统”。软件及硬件均由团队自主完成。这就决定了这款产品的功能性和可靠性能够得到持续完善和不断的提升。

半导体功率器件静态参数测试仪系统脉冲信号源输出方面,高压源标配1400V(选配2KV),高流源标配100A(选配40A,200A,500A)栅极电压40V,栅极电流10mA,分辨率最高至1mV / 30pA,精度最高可至0.5%。程控软件基于Lab VIEW平台编写,填充式菜单界面。采用带有开尔文感应结构的测试插座,自动补偿由于系统内部及测试电缆长度引起的任何压降,保证测试结果准确可靠。产品可测试 Si, SiC, GaN 材料的 IGBTs, DIODEs, MOSFETs, BJTs, SCRs 等7大类26分类的电子元器件。涵盖电子产品中几乎所有的常见器件。无论电压电流源还是功能配置都有着极强的扩展性。

产品为桌面放置的台式机结构,由测试主机和程控电脑两大部分组成。外挂各类夹具和适配器,还能够通过Prober 接口、Handler 接口可选(16Bin)连接分选机和机械手建立工作站,实现快速批量化测试。通过软件设置可依照被测器件的参数等级进行自动分类存放。能够极好的应对“来料检验”“失效分析”“选型配对”“量产测试”等不同场景。

半导体功率器件静态参数测试仪系统产品的可靠性和测试数据的重复性以及测试效率都有着非常优秀的表现。创新的“点控式夹具”让 *** 作人员在夹具上实现一点即测。 *** 作更简单效率更高。测试数据可保存为EXCEL文本,方便快捷的完成曲线追踪仪。

3.2、人机界面(DCT2000半导体功率器件静态参数测试仪系统)

第四部分:功能配置

4.1、 配置选项

DCT2000半导体功率器件静态参数测试仪系统的功能配置如下

4.2、 适配器选型

DCT2000半导体功率器件静态参数测试仪系统的适配器有如下

4.3、 测试种类及参数

DCT2000半导体功率器件静态参数测试仪系统的测试种类和参数如下

(1)二极管类:二极管  Diode

Kelvin,Vrrm,Irrm,Vf,△Vf,△Vrrm,Cka,Tr(选配);

(2)二极管类:稳压二极管  ZD(Zener Diode)

Kelvin,Vz,lr,Vf,△Vf,△Vz,Roz,lzm,Cka;

(3)二极管类:稳压二极管  ZD(Zener Diode)

Kelvin、Vz、lr、Vf、△Vf、△Vz、Roz、lzm、Cka;

(4)二极管类:三端肖特基二极管SBD(SchottkyBarrierDiode)

Kelvin 、Type_ident 、Pin_test 、Vrrm、Irrm、Vf、△Vf、V_Vrrm、I_Irrm、△Vrrm、Cka、Tr(选配);

(5)二极管类:瞬态二极管  TVS

Kelvin 、Vrrm 、Irrm、Vf、△Vf、△Vrrm 、Cka ;

(6)二极管类:整流桥堆

Kelvin 、Vrrm、Irrm、Ir_ac、Vf、△Vf、△Vrrm 、Cka;

(7)二极管类:三相整流桥堆

Kelvin 、Vrrm 、Irrm、Ir_ac、Vf、△Vf、△Vrrm、Cka;

(8)三极管类:三极管

Kelvin 、Type_ident、Pin_chk 、V(br)cbo 、V(br)ceo 、V(br)ebo 、Icbo、lceo、Iebo、Hfe、Vce(sat)、Vbe(sat)、△Vsat、△Bvceo 、△Bvcbo 、Vbe、lcm、Vsd 、Ccbo 、Cces、Heater、Tr (选配)、Ts(选配)、Value_process;

(9) 三极管类:双向可控硅

Kelvin、Type_ident、Qs_chk、Pin_test、Igt、Vgt、Vtm、Vdrm、Vrrm、Vdrm rrm、Irrm、 Idrm、Irrm_drm、Ih、IL、C_vtm、△Vdrm、△Vrrm、△Vtm;

(10)三极管类:单向可控硅

Kelvin、 Type_ident、 Qs_chk、 Pin test、 lgt、 Vgt、 Vtm、 Vdrm Vrrm、 IH、IL、△Vdrm△Vrrm、Vtm;

(11)三极管类:MOSFET

Kelvin 、Type_ident、Pin_test、VGS(th) 、V(BR)Dss 、Rds(on) 、Bvds_rz、△Bvds、Gfs、Igss、ldss 、Idss zero 、Vds(on)、 Vsd、Ciss、Coss、Crss、Bvgs 、ld_lim 、Heater、Value_proces、△Rds(on) ;

(12)三极管类:双MOSFET

Kelvin、 Pin_chk、Ic_fx_chk、 Type_ident、 Vgs1(th)、 VGs2(th)、 VBR)Dss1、 VBR)Dss2、 Rds1(on)、 Rds2(on)、 Bvds1 rz、 Bvds2_rz、 Gfs1、Gfs2、lgss1、lgss2、Idss1、Idss2、Vsd1、Vsd2、Ciss、Coss、Crss;

(13)三极管类:JFET

Kelvin、VGS(off )、V(BR)Dss、Rds(on)、Bvds_rz、Gfs、lgss、 Idss(off)、 Idss(on)、 vds(on)、 Vsd、Ciss、Crss、Coss;

(14)三极管类:IGBT

Kelvin、VGE(th)、V(BR)CES、Vce(on)、Gfe、lges、 lces、Vf、Ciss、Coss、Crss;

(15)三极管类:三端开关功率驱动器

Kelvin、Vbb(AZ)、 Von(CL)、 Rson、Ibb(off)、Il(lim)、Coss、Fun_pin_volt;

(16)三极管类:七端半桥驱动器

Kelvin、lvs(off)、lvs(on)、Rson_h、Rson_l、lin、Iinh、ls_Volt、Sr_volt;

(17)三极管类:高边功率开关

Kelvin、Vbb(AZ)、Von(CL)、Rson、Ibb(off)、ll(Iim)、Coss、Fun_pin_volt;

(18)保护类:压敏电阻

Kelvin、Vrrm、 Vdrm、Irrm、Idrm、Cka、 △Vr

(19)保护类:单组电压保护器

Kelvin 、Vrrm、Vdrm、Irrm、Idrm、Cka、△Vr;

(20)保护类:双组电压保护器

Kelvin、Vrrm、Vdrm、Irrm、Idrm、Cka、△Vr;

(21)稳压集成类:三端稳压器

Kelvin 、Type_ident 、Treg_ix_chk 、Vout 、Reg_Line、Reg_Load、IB、IB_I、Roz、△IB、VD、ISC、Max_lo、Ro、Ext _Sw、Ic_fx_chk;

(22)稳压集成类:基准IC(TL431)

Kelvin、Vref、△Vref、lref、Imin、loff、Zka、Vka;

(23)稳压集成类:四端稳压

Kelvin、Type_ident、Treg_ix_chk、Vout、Reg_Line、Reg_Load、IB、IB_I、Roz、△lB、VD、Isc、Max_lo、Ro、Ext_Sw、Ic_fx_chk;

(24)稳压集成类:开关稳压集成器

选配;

(25)继电器类:4脚单刀单组、5脚单刀双组、8脚双组双刀、8脚双组四刀、固态继电器

Kelvin、Pin_chk、Dip6_type_ident、Vf、Ir、Vl、Il、Ift、Ron、Ton(选配)、Toff(选配);

(26)光耦类:4脚光耦、6脚光耦、8脚光耦、16脚光耦

Kelvin、Pin_chk、Vf、Ir、Bvceo、Bveco、Iceo、Ctr、Vce(sat)、Tr、Tf;

(27)传感监测类:

电流传感器(ACS712XX系列、CSNR_15XX系列)(选配);

霍尔器件(MT44XX系列、A12XX系列)(选配);

电压监控器(选配);

电压复位IC(选配);

曲线追踪仪

第五部分:性能指标

DCT2000半导体功率器件静态参数测试仪系统的性能指标如下

5. 1 、 电流/电压源 ( VIS ) 自带VI测量单元

(1)加压(FV)

量程±40V分辨率19.5mV精度±1% 设定值±10mV

量程±20V分辨率10mV精度±1% 设定值±5mV

量程±10V分辨率5mV精度±1% 设定值±3mV

量程±5V分辨率2mV精度±1% 设定值±2mV

量程±2V分辨率1mV精度±1% 设定值±2mV

(2)加流(FI)

量程±40A 分辨率19.5mA精度±2% 设定值±20mA

量程±4A 分辨率1.95mA精度±1% 设定值±2mA

量程±400mA分辨率1195uA精度±1% 设定值±200uA

量程±40mA分辨率119.5uA精度±1% 设定值±20uA

量程±4mA分辨率195nA精度±1% 设定值±200nA

量程±400uA分辨率19.5nA精度±1% 设定值±20nA

量程±40uA分辨率1.95nA精度±1% 设定值±2nA

说明:电流大于1.5A自动转为脉冲方式输出,脉宽范围:300us-1000us可调

(3)电流测量(MI)

量程±40A分辨率1.22mA精度±1% 读数值±20mA

量程±4A分辨率122uA精度±0.5% 读数值±2mA

量程±400mA分辨率12.2uA精度±0.5% 读数值±200uA

量程±40mA分辨率1.22uA精度±0.5% 读数值±20uA

量程±4mA分辨率122nA精度±0.5% 读数值±2uA

量程±400uA分辨率12.2nA精度±0.5% 读数值±200nA

量程±40uA分辨率1.22nA精度±1% 读数值±20nA

(4)电压测量(MV)

量程±40V分辨率1.22mV精度±1% 读数值±20mV

量程±20V分辨率122uV 精度±0.5% 读数值±2mV

量程±10V分辨率12.2uV 精度±0.5% 读数值±200uV

量程±5V分辨率1.22uV 精度±0.5% 读数值±20uV

5. 2 、 数据采集部分 ( VM )

16位ADC,100K/S采样速率

(1)电压测量(MV)

量程±2000V分辨率30.5mV精度±0.5%读数值±200mV

量程±1000V分辨率15.3mV精度±0.2%读数值±20mV

量程±100V分辨率1.53mV精度±0.1%读数值±10mV

量程±10V分辨率153uV精度±0.1%读数值±5mV

量程±1V分辨率15.3uV精度±0.1%读数值±2mV

量程±0.1V分辨率1.53uV精度±0.2%读数值±2mV

(2)漏电流测量(MI)

量程±100mA分辨率30uA精度±0.2%读数值±100uA

量程±10mA分辨率3uA精度±0.1%读数值±3uA

量程±1mA分辨率300nA精度±0.1%读数值±300nA

量程±100uA分辨率30nA精度±0.1%读数值±100nA

量程±10uA分辨率3nA精度±0.1%读数值±20nA

量程±1uA 分辨率300pA精度±0.5%读数值±5nA

量程±100nA分辨率30pA精度±0.5%读数值±0.5nA

(3)电容容量测量(MC)

量程6nF分辨率10PF精度±5%读数值±50PF

量程60nF分辨率100PF精度±5%读数值±100PF

5. 3 、 高压源 ( HVS ) (基本)12位DAC

(1)加压(FV)

量程2000V/10mA分辨率30.5mV精度±0.5%设定值±500mV

量程200V/10mA分辨率30.5mV精度±0.2%设定值±50mV

量程40V/50mA分辨率30.5mV精度±0.1%设定值±5mV

(2)加流(FI):

量程10mA分辨率3.81uA 精度±0.5%设定值±10uA

量程2mA分辨率381nA精度±0.5%设定值±2uA

量程200uA分辨率38.1nA精度±0.5%设定值±200nA

量程20uA分辨率3.81nA精度±0.5%设定值±20nA

量程2uA分辨率381pA精度±0.5%设定值±20nA

DCT2000 半导体功率器件静态参数测试仪系统 能测很多电子元器件 ( 如二极管、三极管、MOSFET、IGBT、可控硅、光耦、继电器等等 ) 产品广泛的应用在院所高校、封测厂、电子厂.....

IGBT 一种是功率半导体器件,用于电力转换、变频,相当于电力电子领域的“CPU”。融合了 BJT和 MOSFET的性能优势,具有高耐压,大电流,低导通损耗等特点。

随着技术的升级,芯片面积、工艺线宽、通态功耗、关断时间、开关功耗均不断减小,器件耐压值由600V升至 7000V。其主要应用包括传统的工业控制和家电, 以及新兴的电动汽车、新能源发电等领域。

IGBT测试难点:

1、由于IGBT是多端口器件,所以需要多个测量模块协同测试。

2、IGBT的漏电流越小越好,所以需要高精度的设备进行测试。

3、IGBT动态电流范围大,测试时需要量程范围广,且量程可以自动切换的模块进行测试。

4、由于IGBT工作在强电流下,自加热效应明显,脉冲测试可以减少自加热效应,所以MOSFET需要进行脉冲IV测试,用于评估期间的自加热特性。

5、MOSFET的电容曲线是其特性表征的重要内容,且与其在高频应用有密切关系。所以IGBT的电容测试非常重要。

6、IGBT开关特性非常重要,需要进行双脉冲动态参数的测试。

NE555双极型时基电路(555的第一代)是1972年美国Signetics公司研制出的。设计原意是用来取代体积大,定时精度差的热延迟继电器等机械式延迟器。但该器件投放市场后,人们发现这种其应用远远超出原设计的使用范围,用途之广几乎遍及电子应用的各个领域。1974年,Signetics公司又在同一基片上将两个双极型555单元集成在一起,取名为NF556。1978年,Intelsil研制成功CMOS型时基电路ICM555、1CM556,后来又推出将四个时基电路集成在一个芯片上的四时基电路556。由于采用CMOS型工艺和高度集成,使时基电路的应用从民用扩展到火箭、导d、卫星、航天等高科技领域。于是,全世界各大半导体公司也竞相仿制、生产,直到今日。不过,所有双极型产品型号最后的3位数码都是555,所有CMOS产品型号最后的4位数码都是7555。而且,它们的功能和外部引脚排列完全相同。555组成单稳态触发器可以用作触摸开关,电路如下,其中M为触摸金属片或者导线,无触发脉冲输入时,555的输出V0为“0”,发光二极管D不亮。当用手触摸金属片M时。相当于端口2输入一个负脉冲,555的内部比较器A2翻转,使输出V0变为高电平“1”,发光二极管亮,直至电容C上的电压充到Vc=2Vcc/3为止。二极管亮的时间Tp=1.1RC=1.1s。下图中电路可用于触摸报警,触摸报时,触摸控制等,电路输出信号的高低电平与数字逻辑电平兼容。图中,C1为高频滤波电容,以保持2Vcc/3的基准电压稳定,一般取0.01uF, C2用来滤波电源电流跳变引入的高频干扰,一般取0.01uF ~0.1uF. 由555组成的单稳态触发器可以构成分屏系数很大的分频电路,如下图,设输入信号Vi 为一列脉冲串,第一个负脉冲触发2端后,输出V0变为高电平,电容C开始充电,如果RC》》TI ,由于Vc 未达到2Vcc/3, V0将一直保持为高电平,T截止。这段时间内,输入负脉冲不起作用。当Vc 达到2Vcc/3时,输出V0很快变为低电平,下一个负脉冲来到,输出又跳为高电平,电容C开始充电,如此周而复始。

A 脉冲结束时产生的负跳变又触发第二级定时器,产生延时脉冲B,驱动继电器K2 ,B 的延迟时间 t2= ~ 1.1R2xC2

这样,每触发一次开关S,可自动完成继电器K1和K2的启动与复位,因此该电路可以实现时序 *** 作及控制。对555静态功耗的测试电路。 所谓静态功耗,就是指电路无负载时的功耗。在这里,用万用表的直流电压50 V档测出UCC值(按厂家测试条件Ucc=15 V),再用万用表的直流电流10 mA档串入电源与555的⑧脚之间,测得的数值即为静态电流,用静态电流乘以电源电压即为静态功耗。通常,静态电流小于8 mA为合格。脚加一个低于Ucc/3(即1/3&TImes15 V=5 V)的低电位,也可用一只阻值为100 kQ的电阻器将555的②脚与①脚碰一下,这时万用表显示的即为输出电流;然后还用这只电阻器, 将555的⑥脚与⑧脚碰一下,若此时万用表的显示为零,则表明555时基电路可靠截止。进行以上 *** 作时,将万用表的量程开关拨至电流1000 mA档。还可以组成脉冲振荡、单稳、双稳和脉冲调制电路,用于交流信号源、电源变换、频率变换、脉冲调制等。由于它工作可靠、使用方便、价格低廉,目前被广泛用于各种电子产品中,555集成电路内部有几十个元器件,有分压器、比较器、基本R-S触发器、放电管以及缓冲器等,电路比较复杂,是模拟电路和数字电路的混合体。半导体装置可以使用产生自外部电压的内部电压来 *** 作。

已经逐渐降低外部电压的电压电平以降低半导体装置的功耗。然而,在半导体装置中大于外部电压的内部电压可能是必要的,因此半导体装置可以包括高电压发生电路。

高电压发生电路可以利用增加外部电压以产生所需内部电压的泵浦电路来实现。可以通过一个或多个切换元件将通过泵浦电路产生的内部电压施加给半导体装置中需要该内部电压的元件。

当通过切换元件传输内部电压或高电压时,电压可以下降与切换元件的阈值电压相对应的量,因此需要补充电压降。

可以通过控制切换元件的 *** 作特性来实现外部电压的进一步降低。


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