集成电路半导体车间工厂需要布置无尘车间？

集成电路无尘车间是为了满足半导du体制造工艺需求的洁净室，该无尘车间对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室，集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。

远程在线式遥测激光尘埃粒子计数器是几乎每个精密电子车间必不可少的设备，如果在我们的半导体车间中有这样一种监测颗粒浓度的仪器，那么我们在办公室时就可以轻松了解车间中尘埃粒子情况，实现产品生产与监督智造的智能体验。例如，当我们检测到车间内的颗粒浓度过高时，我们可以及时通知相应车间的负责人，并采取针对性的措施降低颗粒浓度，以达到安全可靠的标准，这非常有利于产品的安全生产，为客户提供可靠的高质量产品。

CW-RPC系列远程遥测激光尘埃粒子计数器是深圳赛纳威研发的智能多点净化检测系统的终端设备，不仅可以为用户提供实时准确地远程测量所监控环境的微粒数量和净化等级，根据不同需要增加或减少控制终端，还可以实现7*24实时远程自动监测，通过RJ45网络接口、WiFi、485（moudbus）等，将数据送给PC终端，显示当前监测环境的洁净状况。该粒子计数器按照国际标准ISO14644-1,GMP和日本工业标准（JIS）要求标定，专业应用于电子行业、制药车间、半导体、光学或精密机械加工等洁净室环境自动监测系统。

洁净厂房建筑平面布置和空间布置应根据产品的发展及生产工艺更新改造和扩大生产规模的要求来确定。洁净厂房宜于采用大跨度柱网，不宜采用内墙承重结构体系，这样便于适应工艺的变化和进行改造。洁净厂房围护结构应采用保温、防火、防潮、少产尘、易清洁的材料，要求可随意组装、可拆卸、可重复使用，如夹芯彩钢板就是洁净厂房围护结构最常用的材料。

洁净厂房的洁净区域不应该穿越变形缝、沉降缝，如工艺设计需要洁净区域面积很大必须设有变形缝时应采取相应的密封措施。

洁净厂房上、下技术层，技术夹道（竖向）应满足生产工艺、空调管道、动力、电、水专业的管道的要求。洁净生产层（工艺层）上部的技术夹层，一般用于净化空调系统的送风静压箱或安装循环送风的空调或FFU装置和风管以及动力管线，层高一般约3m（也有更高的）。洁净生产层（工艺层）活动地板和多孔板以下的下技术夹层，一般用于设置公用动力设施及管线，也是净化空调系统的回风静压箱，层高一般约4m（也有更高的）。这种形式的洁净厂房，一般规模大，产品生产工艺连续性强，自动化程度高，所以在进行建筑平面、空调布局和构造设计时，应与工艺设计、公用动力工程设计密切配合，充分满足生产工艺需要和各种公用动力管设施的安装维护要求，方便要求运行管理的建筑设计。这种设计形式属于垂直单向流或混合流洁净室。洁净室的技术夹道主要用于安装空气过滤器、干盘管、灯具、风管和各种公用动力管线，技术夹道的宽度应与各专业设计人员商量决定。

洁净厂房内的通道宽度应满足人员 *** 作和疏散、物料运输、设备安装和检修的要求，如个别工艺设备体积很大，可以让设备先就位再做内装隔断，也可以用活络隔断（可拆卸)留出大型设备进出的通道，便于大型设备的更新和检修。

洁净厂房施工的难点：1、地面处理，如果地面基础不好，做完之后起壳（环氧），如果PVC的话，会起泡；2、当楼房层高不够的时候，隐蔽工程都是难点，比如风管安装、纯水管道，动力电缆。所以如果是租厂房建设洁净厂房时，建议租地面到梁的高度最小4m(洁净厂房的标准高度是2.8m)最起码要留出1m的技术夹层空间。如果洁净室的高度有要求的，洁净厂房地面到梁的高度就更高。

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