用什么仪器测脉冲

安捷伦科技日前宣布,推出Agilent 4075和4076 DC/RF/脉冲参数测试仪,用来检定使用高级工艺技术(如65 nm技术节点)制造的器件。通过Agilent 4075和4076,半导体测试工程师可以同时测量RF特点和DC特点,以满足当前体积日益缩小的多样化半导体器件需求,如65 nm及更高工艺的超薄栅氧化物晶体管、绝缘体上硅(SOI)晶体管和高介电常数(高k)器件。

体积缩小和器件速度提高,日益需要在生产过程中实现新的参数测试功能,而过去只有在实验室中才需要这些功能。Agilent 4075和4076为精确检定新的器件结构提供了所需的灵活性,如超薄栅氧化物MOSFET (金属氧化物半导体场效应晶体管)或通信应用中使用的高速半导体器件。通过先进的设计,Agilent 4075和4076支持10-ns短脉冲式IV测量,对热量或电荷异常灵敏的器件必需进行此类测量,如高速逻辑应用中使用的SOI晶体管和高介电常数晶体管。此外,Agilent 4076支持直到1 fA的超低电流测量功能。

“Agilent 4075和4076使广大客户能够高效检定使用65 nm工艺技术制造的先进器件,从而加快器件开发周期,改善产出。”安捷伦Hachioji半导体测试分部副总裁兼总经理Minoru Ebihara说,“由于高频脉冲式测量功能,这些系统有助于正确检定对热量灵敏的器件。”

与整个4070系列一样,Agilent 4075和4076支持300 mm SECS/GEM自动化协议,这些协议已经在世界各地的生产线中得到验证。SECS/GEM是半导体行业的标准,保证制造设备共享一致的界面和行为。

现代超薄栅MOSFET容易受到电子隧道的影响。为检定其电容和电压(CV)行为特点,测量频率必需超过几兆赫。但是,高频CV (HFCV)及实现检定必需的射频频率CV (RFCV)测量技术之间相互抵触。Agilent 4075和4076同时支持HFCV (4294A)仪器和RFCV (ENA/PNA)仪器,使得用户能够选择最佳方法,满足自己的工艺技术和生产测试需求。

Agilent 4075和4076都把高速电容测量单元(CMU)集成到测试头中。这一功能可以在1 kHz - 2 MHz频率范围内,对层间/层内氧化物非常快速地进行电容测量,从而改善吞吐量,降低测试成本。

通信应用和高速逻辑应用要求深入检定高速半导体器件的性能。Agilent 4075与4076皆支持利用PNA进行RF的S参数测试功能,相对于目前市面上使用VNA的解决方案,以PNA为主的RF解决方案可提供更高的产出速度。

诸如SOI或高k等最新的先进技术需要超短的脉冲测试能力,以防止产生有害的热量或电荷敏感效应。然而,生产测试系统的脉冲式测量能力却只限于测量微秒的范围。Agilent 4075与4076可提供短至10纳秒的超短脉冲式IV测量能力,能有效地测量SOI或高k晶体管等对热或电荷高度敏感组件的特性。

Agilent 4076还为生产测试提供了实验室测试功能。高级工艺通常要求在生产中精确测量各种参数,如MOSFET低于门限的泄漏电流和铜(Cu)金属Van der Paw电阻。这些测量要求异常精确的电流和电压测量分辨率,而此前只有实验室中才能提供这种分辨率。

Agilent 4075和4076所有的RF、HFCV和超短脉冲式IV测量功能都可以在整个新设计的直接对接接口上使用。这种直接对接的设计可通过自动化的探针卡更换机制,让使用者轻易地控制和变换探针卡,而且这种RF直接对接的方式也不会减少任何的DC针脚。

诸如测量链接库和校准工具等 *** 作简易、采用图形化使用者接口的软件皆支持这些RF、HFCV和脉冲式IV测量功能。

比如韩国的思达特，美国的STI，泰克，ITC，IST，吉时利，安捷伦，福禄克，日本的岩崎，TESEC，CATE，JUNO友能，国产的西安易恩电气ENJ2005-C。这是我查的一些关于ENJ2005-C的具体资料：

西安易恩电气 EN-2005C是一款很具有代表性的新型半导体晶体管图示系统，本系统可自动生成功率器件的I-V曲线，也可根据客户的实际需求设置功能测试，直接读取数显结果。系统在失效分析，IQC来料检验及高校实验室等部门有广泛的应用。系统生成的曲线都使用ATE系统逐点建立，保证了数据的准确可靠。系统典型的测试时间是6 to 20ms,通常上百个数据点曲线只需要几秒钟时间便可以展现出来，数据捕获的曲线可导入EXCEL等格式进一步分析研究，是一款高效多功能的高端半导体测试设备。

测试范围 / 测试参数

01

二极管

DIODE

IR；BVR ；VF

02

晶体管

（NPN型/PNP型）

ICBO；ICEO；ICER； ICES； ICEV；IEBO；BVCEO ；BVCBO；

BVEBO；HFE；VCESAT；VBESAT；VBE(VBEON)；RE；VF

03

J型场效应管

J-FET

IGSS；IDOFF；IDGO；BVDGO；BVGSS；VDSON，VGSON；

IDSS；GFS；VGSOFF

04

MOS场效应管

MOS-FET

IDSS；IDSV；IGSSF； IGSSR；VGSF；VGSR；BVDSS；

VGSTH；VDSON、VF(VSD) IDON；VGSON；RDSON；GFS

05

双向可控硅

TRIAC

VD+；VD-；VT+ ； VT-；IGT；VGT ；IL+；IL-；IH+；IH-

06

可控硅

SCR

IDRM；IRRM；IGKO；VDRM；VRRM；BVGKO；VTM；

IGT；VGT；IL；IH

07

绝缘栅双极大功率晶体管

IGBT

ICES；IGESF；IGESR；BVCES；VGETH；VCESAT；ICON；

VGEON；VF；GFS

08

硅触发可控硅

STS

IH+； IH-；VSW+ ； VSW-；VPK+ ；

VPK-；VGSW+；VGSW-

09

达林顿阵列

DARLINTON

ICBO； ICEO；ICER；ICES；ICEX；IEBO；BVCEO；

BVCER；BVCEE；BVCES ；BVCBO；BVEBO；hFE ；

VCESAT； VBESAT；VBEON

10

光电耦合

OPTO-COUPLER

ICOFF、ICBO；IR；BVCEO；BVECO；BVCBO；BVEBO；

CTR；HFE；VCESAT； VSAT；VF(Opto-Diode)

11

继电器

RELAY

RCOIL；VOPER；VREL；RCONT；OPTIME； RELTIME

12

稳压、齐纳二极管

ZENER

IR；BVZ；VF；ZZ

13

三端稳压器

REGULATOR

Vout；Iin；

14

光电开关

OPTO-SWITCH

ICOFF；VD；IGT；VON；ION ；IOFF

15

光电逻辑

OPTO-LOGIC

IR；VF；VOH；VOL；IFON； IFOFF

16

金属氧化物压变电阻

MOV

ID+ ID-；VN+； VN-；VC+ ；VCLMP-；VVLMP+ ；

17

固态过压保护器

SSOVP

ID+ ID-；VCLAMP+, VCLAMP-；VT+、VT-；IH+、

IH-；；IBO+ IBO-；VBO+ VBO-；VZ+ VZ-

18

压变电阻

VARISTOR

ID+； ID-；VC+ ；VC-

19

双向触发二极管

DIAC

VF+,VF-,VBO+,VBO-,IBO+,IBO-,IR+,IR-,

我们是专业销售、维修、租赁，回收，并承接各种进口仪器仪表维修，主要经营仪器：网络分析仪、频谱分析仪、综合测试仪、视频分析仪、逻辑分析仪、阻抗分析仪、音频分析仪、噪声测试仪、彩色信号发生器、高频信号发生器、示波器、矢量示波器、数字万用表、数字源表、频率计、功率计、LCR电桥、高压测试仪、扫频仪、电子负载、变频电源、直流电源、失真仪、图示仪、屏蔽箱等。

主要经营品牌：HP/Agilent/ Keysight（惠普/安捷伦/是德）、Tektronix(泰克)，FLUKE（福禄克）、Keithley(吉时利)、Chroma(可罗马)、HIOKI （日置 )、柯尼卡美能达（KONICA MINOLTA )、罗德与施瓦茨(Rohde&Schwarz)、爱色丽(x-rite )、ADVANTEST（爱德万），KIKUSUI（菊水）、艾法斯（Aeroflex）、Panasonic(松下)、Anritsu(安立)、力科（LeCroy）、MARCONI（马可尼）、莱特波特（litepin）、思博伦（spirent）、KENWOOD（健伍）、MEGURO（目黑）、HITACHI（日立）、等国际知名品牌

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