半导体imc是什么意思

半导体imc是什么意思,第1张

在半导体封装领域,铜线正在日益取代金线作为引线材料。IMC (Cu/Al 金属间化合物)测量是测试铜线Bonding 的可靠性、导电性的重要手段,以确保芯片能够正常工作。

IMC 测量软件是基于Image-Pro Plus7.0平台开发的高度自动化的IMC 测量专用软件,只需简单步骤就可以准确完成图像采集、IMC 测量以及数据输出工作,减少人为误差, *** 作简单、高效。

IMC 测量常用的显微镜为金相显微镜,50X 物镜,反射式照明。

专门针对IMC 测量开发的软件界面,没有多余的按钮,功能按钮清晰简洁,不需要繁琐的培训。

IMC 测量软件的边缘自动提取工具可以快速自动提取球区域面积,颜色吸管工具可以分离出球区域内的非IMC区域,并给出计算结果。

IMC 测量的结果图像和数据可以自动保存到指定的文件夹中。

电导调制效应又称基区宽度调制效应,属于半导体物理的范畴了。就是指基区的有效宽度随集电结的反偏电压的变化而变化的效应。当集电结反向电压增大时,集电结的空间电荷区加宽,这就引起基区有效宽度变窄。

电导调制效应是Webster效应,是在大注入时基区电导增大的现象;而基区宽度调制效应就是Early效应,是集电结电压变化而致使基区宽度变化、并造成伏安输出特性倾斜、使输出电阻减小的现象;另外,基区宽度展宽效应就是Kirk效应,是在大电流下基区宽度增大的现象。

当PN结上流过的正向电流较大时,注入并积累在低掺杂N区的少子空穴浓度将很大,为了维持半导体中性条件,其多子浓度也相应大幅度增加,使得其电阻率明显下降,也就是电导率大大增加,这就是电导调制效应。

电迁移效应:

迁移是金属线在电流和温度作用下产生的金属迁移现象,它可能使金属线断裂,从而影响芯片的正常工作。电迁移在高电流密度和高频率变化的连线上比较容易产生,如电源、时钟线等。为了避免电迁移效应,可以增加连线的宽度,以保证通过连线的电流密度小于一个确定的值。

电迁移效应主要发生在高电流密度和高频率变化的连线上,如电源、时钟线等。在芯片的正常寿命时间中,电源网络中的大电流会引起电迁移效应,进而使得电源网络的金属线性能变差,最终影响芯片的可靠性。避免电迁移效应的主要方法为增大金属线宽。

电源网格中的大电流也会引起电迁移(EMI)效应,在芯片的正常寿命时间内会引起电源网格的金属线性能劣化。这些不良效应最终将造成代价不菲的现场故障和严重的产品可靠性问题。

阐述了无铅焊料中电迁移的物理特性,由于焊点的特殊几何形状,电流拥挤效应将发生在焊点与导线的接点处;电迁移效应导致无铅焊料中金属间化合物(IMC)的生成与溶解,以及焊点下的金属化层(UBM)的溶解和消耗,使原子发生迁移并会产生孔洞,造成焊点破坏,缩短了焊点平均失效时间(MTTF),从而带来可靠性问题。

坑试验怎么做?附详解!在半导体封装工艺中,d坑试验是用来评估键合参数以及键合可靠性的。键合工艺使用的材料一般是金线,铜线或铝线,其中铝线一般是在大功率的产品中使用,铜线在解决了可靠性的问题之后应用也越来越多。d坑试验数据能够指导工艺工程等部门进行工艺设计改进,优化。FA 在进行这种分析时,针对不同的产品类型,一般采用什么样的方法呢?本文介绍几种常见的方法。

1. 铝 (Al bond pad)+ 金线键合(Au wire bond) 目的:分离金球(bond ball)与bond pad,用于检查分析 IMC 和bond pad 试剂:10% NaOH溶液 温度:室温 腐蚀时间:约5分钟 (取决于样品) 方法说明:该方法是利用铝的两性,通过碱性溶剂把金球和bond pad之间的铝层溶掉,最终把bond pad和金线分离出来,用于检查分析。在腐蚀铝层时,金线不会被腐蚀掉。溶液浓度可根据产品特点进行调整,也有用氢氧化钾的,但不宜用高浓度的碱进行腐蚀,需要控制好时间,否则会对芯片造成损伤。

2. 铝 (Al bond pad)+ 金线键合(Au wire bond) 目的:检查bond pad,不关注bond ball 试剂:碘化钾,单质碘,纯水, KI : I2 : DI =115g : 65g : 100g 温度:室温 腐蚀时间:10分钟~15分钟 (取决于样品) 方法说明:该方法是直接把金溶掉,最终把bond pad暴露出来进行检查分析,在腐蚀金的同时,bond pad上面的铝层也会被腐蚀掉。 特点是对金的腐蚀速率较快,缺点是腐蚀不掉的残留物有时较难去除干净。当然去除金的方法还有多种,比如王水,汞等,但王水的氧化性太强,对很多材料都有腐蚀性或者负面影响,汞属于毒性很强的物质一般也不常用,在冶金上面会用于提取金。

3. 铝 (Al bond pad)+ 铜线键合(Cu wire bond) 目的:分离铜球(bond ball)与bond pad,用于检查分析 IMC 和bond pad 试剂:10% NaOH 温度:室温 腐蚀时间:约5分钟 (取决于样品) 方法说明:该方法是用氢氧化钠溶解铝层,但氢氧化钠不会腐蚀铜线,最终可以把bond pad和铜线分离出来,可以检查bond pad和IMC,与金线IMC检查的方法一样。

4. 铝 (Al bond pad)+ 铜线键合(Cu wire bond) 目的:溶解铜线,用于检查分析 bond pad,不需要保证铜线的完整性 试剂:发烟硝酸 温度:室温 腐蚀时间:30秒~ 1分钟 (取决于样品) 这时可以进行bond pad的检查,此时铝层还在pad上,如果需要进一步把铝层去除,可以接着做下面一步: 试剂:HCL (37% ) 温度:50 °C 腐蚀时间:1分钟~ 3分钟 (取决于样品) 方法说明:该方法是用发烟硝酸直接溶解铜线,但由于铝具有钝化作用而得以保留,该方法分两步分别把铜线和铝层溶解掉,可以检查bond pad的铝层形貌以及去掉铝层后的芯片pad。


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