怎么测量半导体薄膜的电阻率

测量半导体电阻率的方法很多，按是否与样品接触可以分为两类，即接触式和非接触式。常用的电阻率测量方法有直接法、二探针法、三探针法、四探针法、多探针阵列、扩展电阻法、霍尔测量、涡流法、微波法、电容耦合C-V测量等。对于体单晶的电阻率测量，生产中应用最普遍的是四探针法；对于半导体晶片的电阻率测量，微波法等非接触式测量方法由于使用方便、不损坏样品，因而应用也越来越多。

希望对您有帮助。

意思就是要用欧姆表去直接测量.欧姆表就是自身产生一个弱电流,去测量探针两端的电压,然后和自身的体电阻比较,最后给出电阻值.但是这对于半导体是不准确的,半导体电阻无法用两根探针测量的主要原因是:1．接触电阻的影响严重。探针与半导体接触产生一定厚度的耗尽层，耗尽层是高阻的,另外探针和半导体之间不像与金属之间一样很好的接触,还会产生一个额外的电阻,称为扩展电阻，两者都是接触电阻，通常都很大.半导体的实际电阻相对于它们越小,测量结果就越不准确.2．存在少子电注入.专用方法：四探针法,两根探针输入测量电流,另外两根探针测量电压分布.要是懂电流计,电压计和电阻计的原理,就能更明白了.

意思就是要用欧姆表去直接测量. 欧姆表就是自身产生一个弱电流, 去测量探针两端的电压, 然后和自身的体电阻比较, 最后给出电阻值. 但是这对于半导体是不准确的, 半导体电阻无法用两根探针测量的主要原因是:

1．接触电阻的影响严重。探针与半导体接触产生一定厚度的耗尽层，耗尽层是高阻的, 另外探针和半导体之间不像与金属之间一样很好的接触, 还会产生一个额外的电阻, 称为扩展电阻，两者都是接触电阻，通常都很大. 半导体的实际电阻相对于它们越小, 测量结果就越不准确.

2．存在少子电注入.

专用方法：四探针法, 两根探针输入测量电流, 另外两根探针测量电压分布.

要是懂电流计, 电压计和电阻计的原理, 就能更明白了.

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