如何测试半导体激光器的调制频率带宽

半导体激光器的调制带宽是指可以输出的或者加载的最高信号速率（对数字信号而言），或者是输出（或加载的）模拟信号的最大带宽。

提高激光器的调制带宽，可以采取以下措施：

①有源区采用应变(抵偿)多量子阱结构-量子阱激光器阱材料由于在平行于阱面方向受到双轴压应变和垂直于阱面方向的拉伸应变，其价带顶的重空穴能级上升，而且这种价带发生退简并，使电子从自旋轨道分裂带向重孔穴带的跃迁几率近似等于零，使室温下的俄歇复合几率减小，从而导致这种量子阱激光器的阈值电流下降，线宽增强因子减小以及弛豫振荡频率、调制带宽、微分增益系数显著提高。

②有源区p型掺杂 p型掺杂可减小穿过SCH区域时的空穴输运，这对高速量子阱器件是主要的限制p型掺杂可以得到非常高的微分增益，并且使量子阱中载流子的分布更加均匀。 若有源区Zn掺杂浓度接近1018cm-3时，其3dB带宽可达25GHz而且掺杂还可使器件的振荡频率增加到30GHz腔长为300μm此外，重掺杂还有利于降低线宽增强因子和进一步提高微分增益，这些都有利于提高器件的调制特性。

③降低电学寄生参数-为了降低高速激光器的电学寄生参数，尤其是寄生电容，可采用半绝缘Fe-InP再生长掩埋技术，同时还需减小电极面积采用自对准窄台面结构(SA -CM以减小器件的寄生电容。人们还常利用填充聚酰亚胺的方法来减小寄生电容。

④提高激光器内部光子浓度和微分增益-增加激光器腔内的光子浓度，可增加本征谐振频率。利用DFB结构使激射波长与增益峰波长为负失谐(-10nm可以提高微分增益，这些都可以增加-3dB调制带宽。 以上分析了限制半导体激光器高速调制特性的因素以及提高激光器调制带宽的途径，这些因素之间与其静态特性之间是相互影响的所以在设计高速激光器时，还需考虑其他特性，如阈值、温度特性等。

尽管激光市场受到、贸易战等外部因素的影响，但整体产业仍保持欣欣向荣的气象。多家企业仍在建制新厂、扩建或改建、优化工艺线等，这也对激光测试及老化设备提出了更高的要求。目前，国内外大功率半导体激光器泵浦源制作商为了提高输出功率需要使用偏振合束的技术方案，对半导体激光芯片的偏振度测试提出了强烈的需求，目前市面上激光器研制单位针对半导体激光芯片的偏振测试基本依靠简单搭建的独立仪器组合来完成，功能单一，使用 *** 作复杂，测试准确度和重复度差，测试效率低下，以致对偏振度测试成为了众多半导体激光器芯片和模组生产企业的产能瓶颈。为了解决行业测试痛点问题，日前深圳瑞波光电子有限公司的专业测试设备团队，在RB-CT1003X COS综合性能测试机的基础上，开发了带自动偏振测试功能的RB-CT1004X激光器测试设备系列，该型设备集成了LIV、光谱、远程发散角、偏振度自动测试功能，是目前市面上功能最全的半导体激光器测试设备，可广泛应用于激光器芯片、泵源研究院所、大学和生产制造企业，目前该RB-CT1004X系列设备刚一上市就已经获得国内多家半导体激光器制造商的订单，显示出业界对新型测试设备的强力认可和迫切需求。深圳瑞波光电子有限公司一直致力于为半导体激光器制作行业提供全面的、性价比高的测试解决方案，针对半导体激光器制作过程的关键环节，瑞波光电开发了成系列、自动化程度高的性能测试、老化设备。多年来基于用户角度深耕于半导体激光器测试、老化技术，瑞波光电的性能测试、老化设备广泛应用于海内外的光电企业，目前累计对外销售120台。其中RB-CT1003X系列的COS综合性能测试机，集成了LIV、光谱、远程发散角测试，因其功能齐全， *** 作简单广发应用于半导体激光器器件研制单位和生产企业，该系列设备装机量超过50台。1、新款RB-CT1004X系列设备主要功能和特点- 对贴片好的COS、C-mount、TO等封装器件做全面表征测试- 在特殊设计的脉冲电流或者CW模式下测试LIV特性、光谱特性、远场特性、偏振态特性- 可测试器件的COD特性- 电流范围宽：标准电流范围0-25A（可配置到0-0.5A，0-5A，0-40A）- 电流波形选择宽：50微秒脉冲宽度到连续电流

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