半导体技术天地，金币

你找投票贴，一个一个投票，能得不少积分，到时候拿积分兑换金币，我投了20几个，得了6个积分，积分超过15分，回复就不用审核了。不过不是每个回复都能得积分，得有点技术型的回复才能得积分。

离子注入后退火：加热注入硅片，修复晶格损伤，使杂质原子移动到晶格点，将其激活。

高温退火和快速热处理相比，快速热处理更优越。

因为快速热处理可以避免长时间的高温导致杂质扩散，以及减小瞬间增强扩散。

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