特种的气体,用于半导体的高纯度气体(或者叫电子气体)是一种生产半导体、液晶、太阳能电池等各种电子产品时使用的特殊的高纯度气体。从大的方面来说,有用于制作半导体配线的气体材料、用于蚀刻(进行半导体细微加工工程)、用于生产设备清洁工艺的气体。
比方说,三氟化氮是被广泛应用于生产设备的清洁气体(Cleaning Gas),六氟化钨是作为半导体的钨配线材料,其需求正急剧上升。
作为NAND(非挥发性存储半导体)、DRAM(挥发性存储半导体)等存储半导体的蚀刻气体(Etching Gas),氯气、溴化银、氟甲烷、四氟化碳、八氟环丁烷、六氟丁二烯等的需求正在增长。
扩展资料
电子特气是集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产中不可缺少的基础和支撑性材料,被广泛应用于薄膜、掺杂、腔室清洗、光刻、刻蚀、清洗、载气、保护气等工艺。2018年电子特气在半导体前道制造所需材料中占比高达18%。
中国电子特气的发展对我国半导体芯片产业的发展起着至关重要的作用,也直接关系到国民经济发展和国家战略安全。
日韩贸易摩擦把半导体材料对一个国家的重要性体现得淋漓尽致,仅仅高纯度氟化氢,光刻胶和氟化聚酰亚胺三种产品就能对整个韩国国民经济构成严重影响。日韩半导体材料事件也为国内半导体产业敲响了警钟,未来半导体材料的国产化进程将会加速。
参考资料来源:百度百科-电子特气
气体工业名词,是指那些在特定领域中应用的,对气体有特殊要求的纯气,高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。
特种气体(Specialtygases)门类繁多,通常可区分为电子气体,标准气,环保气,医用气,焊接气,杀菌气等,广泛用于电子,电力,石油化工,采矿,钢铁,有色金属冶炼,热力工程,生化,环境监测,医学研究及诊断,食品保鲜等领域。
特种气体兴起于60年代中期,作为基础化工材料,主要运用于大型石油化工、半导体器件、光导纤维、激光、医学科学、临床诊断、医药消毒、水果催熟、食品保鲜等领域。随着新产品技术的发展,其应用范围也越来越广泛。自80年代开始,我国的气体工业迅速发展,各类纯气体、高纯气体、特种气体、混合气体、标准气体、电子工业用气体等相继问世,其品种数目已与国外发达国家水平相近。
气体工业是国民经济基础工业之一,它涉及到国民经济的各个领域、涉及到人民的日常生活,牵动着高科技的发展。在国民经济高速发展及下游行业的强劲需求下,我国特种气体行业在2006年后进入快速发展阶段,年均增速达到17%以上。2011年,国内特种气体行业产值规模为296.88亿元,较上年增长22.15%销售收入为297.52亿元,较上年增长21.64%。预计2012年特种气体行业销售规模将达360亿元,2012-2015年复合增长率有望保持10.3%。
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