真空泵比较好的牌子如下:
1、立申牌
在全国设有二十多家销售服务中心,营销网络遍及全国。 公司自来水泵设计中心,质量监控及检测中心,售后服务及技术咨询中心,具有较强的设计、开发和生产能力。
2、伯仲真空
属于山东伯仲真空设备有限公司,它是中国专业生产真空泵及真空泵成套设备的骨干企业,2005年至2007年,公司获得了淄博市工商局授予的"2005年度企业年检免检企业"、"守合同重信用企业"、"淄博市诚信企业"与"文明诚信双百佳"等光荣称号。
3、泰悉尔
属于美国泰悉尔集团(Tuthill Group),改集团是一家总部位于美国芝加哥、拥有百年历史的家族企业和跨国公司集团,业务范围涵盖真空系统和风机、介质泵、流体联接件、控制、联动件、塑料、燃油传送系统和交通技术。
4、斯特林
属于德国斯特林(Sterling)流体系统集团,该集团隶属于1918年创建的TBG(Thyssen Bornemisza Group)集团。斯特林(Sterling)流体系统业务遍及40多个国家和地区,年销售额达5亿欧元,为全球比较大的泵业集团之一。
5、千岛
属于杭州千岛泵业有限公司(建德市科技实验厂),二十七年来我公司与浙江工业大学及浙江省机电设计研究院通力合作一直致力于防腐、环保、真空设备的研制、生产和销售。
6、华泰真空
华泰真空设备制造有限公司是一家具有良好的集真空技术研发、生产、销售于一体的真空应用及真空获得的制造厂家。
7、百诚
陕西百诚真空设备工程有限公司是一家集真空系统设计、制造、销售与一体的专业化真空公司, 属中国真空学会会员。与比亚迪汽车、上海通用汽车建立了长期的合作关系。
8、德源
公司为博山泵业商会副会长单位,近几年来先后被中国市场品牌战略委员会、市精神文明委员会、市工商局、市私营企业局等部门评为“百佳文明私营企业”、“3.15诚信企业”等荣誉单位。
产品荣获“中国潜水电泵产品比较具竞争力品牌”、“中国潜水电泵产品消费者比较喜爱品牌”等称号。
9、冠田
成立于1996年,经过十多年的发展和对外交流,本公司已发展为一家具有自主设计、制造及销售为一体的专业性的泵制造企业。
10、博山国源
山东博山国源真空泵厂是机械部定点企业,是生产真空获得设备及真空应用产品的专业生产厂家,本厂具有完善的质量管理体系,技术力量雄厚,制造设备精良。可为用户设计、制造不同类型的真空应用产品。
iH600 干式泵 460V,60 Hz,3 相
A59020908
概述
Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照最高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时最大程度地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。
iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。
应用
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
iH600 干式泵 460V,60 Hz,3 相
A59020908
iH600 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相
A59020945
iH600 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相
A59020946
iH600 干式泵 230V,60 Hz,3 相
A59020957
功能和优势
优化了设施消耗。
无需预防性维护。
悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
在节省电机功率的同时最大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。
整体式轴杆无需使用电机联结器,而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积,从而降低了总体占地面积。
技术数据
峰值速度 600 m3h-1
353 cfm
10000 l min-1
极限真空 7 x 10-4 mbar
5.3 x 10-4 Torr
0.07 Pa
典型轴封氮流量 4 slm
进气口连接 ISO100
出口连接 NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量 240 l h-1
4 l min-1
重量 415 kg
极限功率输入 3.4 kW
电机额定功率 6.1 kW
油容量 1.43 l
所有数字均为无气镇时的典型值。
性能
尺寸
1 进气口
2 出口
3 抽风口
4 变频器箱(仅限 iH1000)
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