半导体厂FDC系统全称

全称为FaultDetecControl系统，即故障检测控制系统，为芯片制造商提供了一种更全面的故障检测方法。它使他们能够提高产量并减少系统部署时间，从而缩短产品上市时间。云中的DFD还可以大大降低系统拥有的总成本，同时保持最高级别的安全性，系统性能，并且可以轻松扩展以满足不断变化的生产需求。

英文简称: DOF

英文全称: depth of focus

中文全称: 焦点会聚范围

中文解释: 光束或电子束在一个选下点上会聚的范围，它是光刻工艺曝光工序使用的一个概念

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