半导体中cvd pvdALD什么

半导体中cvd pvdALD什么,第1张

cvd:Chemical Vapor Deposition 化学气相沉积,众多薄膜沉积技术中的一种。pvd:(Vapor ),指利用物理过程实现物质转移,将原子或分子由源转移到基材表面上的过程。ALD:原子层沉积。拓展由于低温沉积、薄膜纯度以及绝佳覆盖率等固有优点,ALD(原子层淀积)技术早从21世纪初即开始应用于半导体加工制造。DRAM电容的高k介电质沉积率先采用此技术,但近来ALD在其它半导体工艺领域也已发展出愈来愈广泛的应用。

原子层沉积。其ald和peoxide和harp三者都是一种通过热原子层沉积(热ALD)和等离子体增强原子层沉积(PEALD)来沉积氧化物膜,液态原子增强原子层沉积成液态膜衬底的方法,是化学镀膜的重要组成部分,使用于半导体领域。

ald一般指醛固酮。

醛固酮(Aldosterone)是一种增进肾脏对于离子及水分子再吸收作用的类固醇类激素(盐皮质激素家族),化学式为C21H28O5,主要作用于肾脏,是增进肾脏对于离子及水分再吸收作用的一种激素。

体内分泌机理:

原发性醛固酮增多症,假性醛固酮增多症(双侧肾上腺球状带增生),利尿剂、心衰、肝硬变、肾衰、肾病综合征等所致的继发性醛固酮增多症,原发性周期性水肿,Bartter氏综合征,肾球旁器增生,低血容量,各种原因所致的低钾血症,部分恶性高血压及缓进型高血压等。

见于肾上腺皮质功能减低(如Addison病)、原发性单一醛固酮减少症、高钠饮食、自主神经功能紊乱、妊娠高血压综合征、宫内死胎、恶性葡萄胎等。

以上内容参考:百度百科--ald


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