1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求？

半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺，在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境，风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，最普通的万级区域环境建设参数一般如下（百级千级黄光区域要求更高）：

1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。

2、垂直流洁净室满布比不小于60%，水平单向流洁净室不小于40%，以防止局部单向流。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6、净化空调系统加热器设置新风，超温断电保护。

对于半导体这样高要求的无尘环境，推荐找CEIDI西递做全面的设计和施工，他们是洁净工程领域的EPC集成服务商，在无尘车间的建造方面已经有很多成功案例。题主大大采纳下我呗

洁净车间装修有四大诀窍

1、在洁净厂房建筑布局中，厂房外通常设有圆形密封走廊。它提供了洁净区和外界之间的缓冲区。它有助于防止室外污染并且相对节能。厂房门窗内墙平整，无需安装窗框。应特别注意外窗的层数和结构，以密封空气中的水分，使污染颗粒不易从外部渗透。不同洁净度房间的门窗之间必须密封，以免因内外温差而结露。门窗材料应选用耐候性好、自然变形小、制造误差小、气密性好、造型简单、防尘、易清洁、无门框门槛的门窗材料。洁净工作场所的门窗应采用金属或金属涂层材料。另外，不要使用木门窗，以免长期受潮和滋生细菌。外墙开窗应与内墙平齐，窗框应倾斜或不留窗框，并采用两层固定窗，以减少能量损失。

洁净车间装修

2、地板平整、无缝、耐磨、耐腐蚀，静电不易积聚。易于清洁整个地板。设计中可采用原位水磨石地坪，石材直径为6-15mm。其中，分离棒要用铜棒隔开，不能用玻璃棒。目前主要采用环氧自流地坪。它是一种复合树脂地板。无溶剂、无毒、无味、无缝、自流平。是的。实现镜面装饰效果、无缝连接、耐油、耐酸、耐碱、耐盐化学溶剂。洁净车间装修具有抗静电、低发尘、耐磨、抗冲击等性能，但价格昂贵。多用于电子、医疗、血液制品的地面及其他要求高洁净度、美观、无尘、无菌的生产车间。自流环氧地坪的使用寿命为 1 毫米或更长，通常可以使用 6 年或更长时间。防潮层应放置在地板上的垫子下，以防止混凝土废物管线通过清洁区域。

洁净车间装修

3. 洁净车间装修

墙面应光滑、平整、无尘、耐腐蚀、色彩协调、易识别污染物。内墙涂料应涂上防霉、防静电、防眩光的材料。 ，并能经得起清洗和消毒。墙体与地面相交处的圆弧半径应为50mm，以减少灰尘堆积，便于清洁。交通走廊等脆弱区域的墙壁上应设置防撞护栏，防止装修材料因振动而落下灰尘。

4、洁净车间装修为保证房间的清洁，所有送风管道和灯具必须放置在技术夹层内。今天，大多数制药公司使用彩钢夹芯板来密封天花板。彩钢夹芯板具有重量轻、整体强度高、整体性高、发尘少等特点，更适合GMP生产车间。但是，固定吊顶必须与主体结构相连，不能与管件或管道支架混合使用。天花板和墙壁应连接顺畅。天花板和回风管道必须正确关闭。吊顶安装完成后，应进行灯光检查，确保没有间隙。根据工艺要求，维修通道一般需要设置在技术夹层上，以方便管道维修和更换管道。

你会不会以为半导体工厂内就是干净无比、一尘不染，并且只有少数几个人和大量的机器，然后这样的工厂怎么会对身体有害呢？其实半导体有点属于重污染企业，首先是半导体工厂内会有大量的酸性气体（这些气体来自于晶圆的蚀刻、清洗等过程）。其次，由于半导体制造的过程中会需要大量使用光阻液、显影液等等，这些溶液主要是有机物质，因此在蚀刻、清洗、薄膜生长等过程中，会有大量的有机溶剂被使用，其中就包括二甲苯、丙酮、苯、CCl4、CF4、CCl2F2等等，别的不说，苯就是高毒性的一级致癌物。

为了防止这些污染会伤害员工、污染环境，半导体工厂需要有极为严格的污染防治措施，包括实时处理工作场所的空气、妥善处理生产废料等等。可以说污染处理的任何一个环节出现了问题，那么都有可能对员工的身体造成巨大的伤害，同样也有可能会对周围的环境造成巨大的污染。

总而言之，半导体生产行业是高污染行业，一定要严抓相关企业的污染治理，不然最后的结果就是无数的悲剧。近几年来，由于半导体芯片在电脑，通信等领域的广泛应用，半导体制造业也在全球得到了飞速发展。在半导体制造业中，由于其昂贵设备的敏感性和制造过程的复杂性，工厂的布局变得不可以轻易更改，初始的不良布局结果会导致庞大的物料搬运成本、无效的生产以及重新布局时所需要的大量成本。

因此，工厂的设施规划已经成为半导体制造商们最关心的问题，在建厂初期他们就不得不对工厂进行谨慎详细的规划。这样，工厂投产以后整体生产系统才能发挥最大的生产效能。特别是迅速发展的亚微米工艺对生产场所空气洁净度要求特别高。所有半导体制程设备，都必须安置在隔绝粉尘进入的密闭空间中，这就是洁净室的来由。

洁净室的洁净等级，有一公认的标准，以Class 10为例，意谓在单位立方英寸的洁净室空间内，平均只有粒径0.5微米以上的粉尘10粒。所以Class后头数字越小，洁净度越佳，当然其造价也越昂贵。 同时这对于洁净室设备生产制造企业来说也是一个机遇，深圳赛纳威是一家专业从事环境检测仪器及环境监测治理系统开发和制造的高科技企业，拥有由留美博士、硕士和光机电及软件工程师组成的一流研发团队，其专业致力于洁净室建设技术与服务，始终将洁净室最终使用者的利益与体验放在首位，确保洁净空间的安全、舒适、节能和高效，为洁净室使用者创造真实而持久的价值，公司早期开发的净化车间专用尘埃粒子计数器系列产品和气体检测仪器系列产品已经在国内外市场上占据了较高的市场份额。

CW-RPC系列远程遥测激光尘埃粒子计数器是智能多点净化检测系统的终端设备。为用户提供实时准确地远程测量所监控环境的微粒数量和净化等级。根据不同需要增加或减少控制终端，可实现7*24实时远程自动监测，通过RJ45网络接口、WiFi、485（moudbus）等，将数据送给PC终端，显示当前监测环境的洁净状况。该粒子计数器按照国际标准ISO14644-1,GMP和日本工业标准（JIS）要求标定，专业应用于电子行业、制药车间、半导体、光学或精密机械加工等洁净室环境自动监测系统。

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