美国KLA-TencorCorporation于1976年成立于美国加州硅谷, 是*的半导体检测设备供应商,公司为半导体制造及相关行业提供产能管理和制程控制解决方案,协助半导体(芯片)厂商创造高品质、高效率的产质,是半导体业内领先的设备检测及良率解决方案供应商,公司主要客户包括:Intel, TSMC, SMIC 等,销售及服务网络遍及美洲、欧洲及亚洲。公司总部在美国加州硅谷,被评为硅谷*佳雇主第六名。公司2015年营业额达到 $2.8Billion, 全球雇员达到六千人以上。
科磊半导体设备技术(上海)有限公司是KLA-Tencor Corporation设立在中国上海的全资研发中心,2004年成立于张江高科技园区, 主要从事半导体检测设备的研发、测试及应用。自成立以来,公司秉承总公司价值理念,注重人才培养与技术研发,取得了突出成就。公司研发力量涵盖软件设计、硬件构建以及应用功能的开发, 为中国及全球的新产品提供技术支持。
拓展资料:
半导体制造,是用于制造半导体器件的过程,通常是日常电气和电子设备中使用的集成电路(IC)芯片中使用的金属-氧化物-半导体(MOS)器件。它是光刻和化学处理步骤(例如表面钝化、热氧化、平面扩散和结隔离)的多步骤序列,在此过程中,在纯硅制成的晶圆上逐渐形成电子电路半导体材料。几乎总是使用硅,但是各种化合物半导体都用于特殊应用。
从开始到准备发货的封装芯片的整个制造过程需要六到八周的时间,并且在高度专业化的半导体制造厂(也称为代工厂或晶圆厂)中进行。在更先进的半导体设备,诸如现代14/10/7纳米的节点,制作可采取多达15周、11-13周是行业平均水平。先进制造设备中的生产是完全自动化的,并在密闭的氮气环境中进行,以提高产量(在晶片中正常工作的微芯片的百分比),自动化的材料处理系统负责晶片在机器之间的运输。所有机械均包含内部氮气气氛。通常,机器内部的空气要比洁净室中的空气清洁。这种内部气氛被称为迷你环境。制造工厂需要大量的液氮来维持生产机械内部的气氛,而生产机械中的气氛不断被氮气吹扫。
空气污染,又称为大气污染,按照国际标准化组织(ISO)的定义,空气污染通常是指:由于人类活动或自然过程引起某些物质进入大气中,呈现出足够的浓度,达到足够的时间,并因此危害了人类的舒适、健康和福利或环境的现象。换言之,只要是某一种物质其存在的量、性质及时间足够对人类或其他生物、财物产生影响者,我们就可以称其为空气污染物;而其存在造成的现象,就是空气污染。
基于尘埃粒子在光束中产生的散射现象为原理的光学尘埃粒子计数器,因其可以实时测量空气中尘埃粒子的尺寸和颗粒数浓度,所以在洁净环境洁净度检测、空气悬浮颗粒物监测、气溶胶研究等方面得到广泛的应用。随着工业技术的发展,工业生产对生产环境洁净度的要求越来越高,特别是微电子行业,空气中尘埃粒子直接影响芯片的成品率;同时,医疗、食品、化妆品、生物制品等部门越来越多地采用这一专业环境检测仪器,以提高产品质量。
为了满足用户实时实地测量的要求,国内自主研制微型化激光尘埃粒子计数器变得十分迫切。 深圳市赛纳威环境科技有限公司是一家专业从事环境检测仪器及环境监测治理系统开发和制造的高科技企业,公司早期开发的净化车间专用尘埃粒子计数器系列产品和气体检测仪器系列产品已经在国内外市场上占据了较高的市场份额。
CW-HPC300三通道高精度手持式激光尘埃粒子计数器是依据国际标准ISO14644-1和GMP设计,有中英文版本可供选择,能同时对三个粒径档(用户可任意设定待测粒径)进行检测,并能通过USB接口高速下载,可广泛应用于电子工业和制药工业中的无尘车间环境检测、室内环境检测、过滤器效率分析测试、检查污染源分析、粒径分布分析等。
CW-PPC300三通道台式激光尘埃粒子计数器是按照国际标准ISO14644-1和GMP设计、按照国家计量总局颁布的JJG546-88计量规范要求标定。中/英文双语显示,采用微电脑控制实时监测,测量精度高、速度快、直接打印检测结果等功能。主要用于检测洁净室或无尘车间的空气尘埃颗粒浓度,以及分布状况,是确定环境洁净等级的专用测量仪器。广泛应用于电子工业和制药工业中检测净化环境、净化室、无尘室洁净级别。
CW-HPC600&CW-HPC600A型手持式激光尘埃粒子计数器是深圳市赛纳威环境科技有限公司独创的集手持式和台式打印于一体的高灵敏激光尘埃粒子计数器。其受专利保护的设计不仅在传感器技术的灵敏度、分辨率和稳定性也领先于国际同类产品。更以独具一格的多功能化集成设计满足和方便用户的使用需求。能实时准确地测量所在环境的微粒数量和分布;对各种测量参数可进行设定,如自动实时显示、粒径选择、定时、延时和自动重复测量、时间、和日期设定、数据存储和打印、计数超限报警灯功能等。
CW-RPC300远程遥测激光尘埃粒子计数器是智能多点净化检测系统的终端设备。为用户提供实时准确地远程测量所监控环境的微粒数量和净化等级。根据不同需要增加或减少控制终端,可实现7*24实时远程自动监测,通过RJ45网络接口、WiFi、485(moudbus)等,将数据送给PC终端,显示当前监测环境的洁净状况。该粒子计数器按照国际标准ISO14644-1,GMP和日本工业标准(JIS)要求标定,专业应用于电子行业、制药车间、半导体、光学或精密机械加工等洁净室环境自动监测系统。
赛纳威遵循"求实创新,用户至上"的企业宗旨,聚焦和满足客户的需求,提供极具竞争力的优质空气检测及治理产品和售后服务,帮助用户实现"高效便捷”的工作目标,努力为客户创造长期价值。
深圳赛纳威专业生产粒子计数器
深圳赛纳威
集成电路无尘车间是为了满足半导du体制造工艺需求的洁净室,该无尘车间对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室,集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。
远程在线式遥测激光尘埃粒子计数器是几乎每个精密电子车间必不可少的设备,如果在我们的半导体车间中有这样一种监测颗粒浓度的仪器,那么我们在办公室时就可以轻松了解车间中尘埃粒子情况,实现产品生产与监督智造的智能体验。例如,当我们检测到车间内的颗粒浓度过高时,我们可以及时通知相应车间的负责人,并采取针对性的措施降低颗粒浓度,以达到安全可靠的标准,这非常有利于产品的安全生产,为客户提供可靠的高质量产品。
CW-RPC系列远程遥测激光尘埃粒子计数器是深圳赛纳威研发的智能多点净化检测系统的终端设备,不仅可以为用户提供实时准确地远程测量所监控环境的微粒数量和净化等级,根据不同需要增加或减少控制终端,还可以实现7*24实时远程自动监测,通过RJ45网络接口、WiFi、485(moudbus)等,将数据送给PC终端,显示当前监测环境的洁净状况。该粒子计数器按照国际标准ISO14644-1,GMP和日本工业标准(JIS)要求标定,专业应用于电子行业、制药车间、半导体、光学或精密机械加工等洁净室环境自动监测系统。
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