半导体制造，DNS清洗机是做什么的使用哪些液另外IPA在清洗工序中是什么意思

DNS是厂商名字，中文叫迪恩士，就是化学清洗槽（也叫酸槽/化学槽），主要有HF,,H2SO4,H2O2，HCL等酸碱液体按一定比例配置，目的是为了去除杂质，去离子,去原子，最后还有DI清洗。IPA是异丙醇，就是工业酒精，是用来clean机台或parts的，是为了减少partical的。

化学清洗槽(Chemical Hood)

仪器简介：

化学清洗槽(Chemical Hood) 半导体制程之前端RCA清洁、化学性处理与实验、光阻涂布与显影等…。

http://pic.sju.edu.tw/machine/machine_show.asp?machine_id=48

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