安装在泵体中的偏心转子)有三块叶片,它们把泵分成三个隔室,每个隔室的容积随转子的旋转周期性的变化。
当转子旋转时,抽空腔的进气部分容积扩大,将气体从进气口吸入,气体经过空气滤芯,打开的防返油阀进入腔泵。当转子进一步旋转,叶片从吸入口将泵腔部分分开。这部分泵腔容积减少,气体被压缩。气体在略高于大气压时经过排气阀从泵腔排出。
油在注入泵腔起密封、润滑和泵冷却的作用。压缩气体夹带的油在油箱内由于折转而被初步捕集。而后在出口油雾分离器中被彻底过滤。于是,排气中油含量下降至低于可见程度。
注:SOGEVAC系列泵不能抽空侵蚀性、腐蚀性、易燃或易爆气体。
研究与发展领域
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所有工业品的生产与技术成果都必须经历广泛、高投入的研究与发展阶段。只有经过仔细研究、测试和开发过程的新产品才能投入到生产或大规模应用中。
应用于各研发领域的真空设备、装置及零备件,其尺寸和能力都是不同的。我们为满足这些研发用途而专门开发和生产特殊的专业产品。因此,我们能由始至终参与到客户的整个生产工艺过程中,并获得宝贵的经验以使本行业的合作伙伴也能根本受益。
半导体技术领域
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半导体行业正持续迅速的发展着,为能满足客户对产品和工艺快速不断变化的需求,我们与客户之间的沟通从未象今天这样如此重要。
真空设备在所有半导体生产过程中发挥着极为重要的作用,针对特殊的生产要求必须选择适合的真空设备。
过去的几年里,为完全满足半导体行业需求,我们缩短产品开发周期,更加迅速的推出新的产品,大大提高了我们的服务质量。
永佳电机行,0088635715596,新竹市太原路34号永佳电机厂服务项目
台制及欧、美、日制、各种油式真空泵浦、乾式真空泵浦
德国莱宝(LEYBOLD)真空泵浦、德国贝克(BECKER)真空泵浦
美国(VARIAN)真空泵浦、纯水高压机械循环泵浦、热交换器高压循环泵浦、化工用无轴封泵浦、不銹钢抽水机、大水量污水马达 深水马达、高压送风机、马达、发电机、买卖、制造、维修
台湾普熙公司,00886280260016,新北市深坑区北深路三段69号
本公司为西德Busch在台子公司,从事真空系统及设备之设计、规划、按装、试车及保养在,台湾已成立15年,使用客户包含国内各大石化、化学电子、半导体、制药、食品、医院、印刷、自动化机械、热处理、雷射、航太等工业。
本公司於半导体及光电业使用之真空泵浦及系统,包含德国Busch进口式之乾式Pump、scrow pump 、日本Aisin/Toyota之Cryo pump,专业知识包含机械电子与光电半导体联线之相关自动控制,自然也包含各种真空应用知识。
由於Busch为世界级之国际型公司因此技术来源包含来自德国、英国、美国以及日本等主要国家之无条件支援,在由於竹北服务中心之设立,现已为高度成长之公司,目前产品已於TSMC、Macronix、Winbon、 Promos及UEC….等公司逐渐大量采用中。
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