半导体镀膜工艺是什么

镀膜工艺一般是PVD和CVD。PVD：物理气相沉积。通过plasm轰击金属靶材（金靶，铜靶，Al，Cr.....），金属原子脱离靶材，落在wafer表明，形成薄膜。CVD：化学气相沉积。这个是通过化学反应，在晶圆表面张氧化薄膜。

蚀刻，通常所指蚀刻也称光化学蚀刻（photochemical etching），指通过曝光制版、显影后，将要蚀刻区域的保护膜去除，在蚀刻时接触化学溶液，达到溶解腐蚀的作用，形成凹凸或者镂空成型的效果。

蚀刻加工，是利用这一原理，对金属进行定制加工的一门工艺手段。

蚀刻加工步骤

1、来料检验当接到客户需要加工的工件时，首先我们要经过检查，也就是我们目前IQC工序所要做的工作，把接到客户的加工工件抹干净，然后进行仔细检验，把来料中存在的不良品剔除出来，保证投入的产品是良品。

2、静电除尘、喷感光油、检查当来料加工的工件经过IQC检验合格后，就交给下一道工序：喷感光油，但在喷感光油前一定要进行静电除尘，因为产品在生产过程和我们抹试的过程中，不同程度上会存在静电，而静电是可以吸付灰尘的，所以必须经过静电除尘，把静电去除后灰尘才不会吸付在产品上面，完成静电除后就进行下一步工作：喷感光油，喷感受光油的作用主要是为下一道工序感光（爆光）做好准备，将产品前后都喷上感光油，完成喷油工作后，必须对产品进行仔细检查，检查的目的是产品在喷油过程中有没有喷到油、有没有存留油渣等不良现象出现，当产品检查OK后就要流入下一个工序：感光（爆光）。

3、感光、显影 感光（爆光）是将菲林放在已经喷了感光油的产品上面，主要的目的是通过爆光让菲林上的图案在产品上形成，感光（爆光）过程中要特别注意夹具一定要放好，菲林不能歪斜，否则产品图案就会出现歪斜现象，从而产生不良品，而菲林也要定期检查，不能出现折叠现象,否则也会出现不良品。感光（爆光）完成后就要进行下一步工作：显影；显影的目的是通过显影药水将未爆光的地方冲走，经过爆光的地方固化，形成蚀刻图案，经过显影后质检员对产品进行检查，把显影不到的地方或图案不良的产品挑选出来，良品则进入下一道工序：封油。

4、封油 所谓封油就是将产品在喷油过程中产品边缘的位置、喷不到油的地方进行人工补油，补油过程中产品的金属部位不可有外露现象，否则经过蚀刻后将会产生不良品，补油完成后再对产品进行烘干，烘干完成后对产品进行检查，检查OK后才可以放入下一道工序：蚀刻。

5、蚀刻、清洗 蚀刻是整个生产流程的关键工序，主要是将产品通过化学溶液的化学作用将产品经过爆光显影后外露的不锈钢部位进行腐蚀，从而形成我们想要的图案，蚀刻工作完成后对产品进行清洗，将多余的油漆清洗掉，然后经过慢拉机等的清洗设备完成产品的加工过程。

6、出货检验 经过蚀刻清洗工序完成后的产品即是我们想要的产品，但还要进行FQC最终检验，将生产过程中的不良品剔除出来后才可以交成品仓库安排出货。

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