对身体有害。
半导体产业属于重污染企业,工厂内会有大量的酸性气体。这些气体来自于晶圆的蚀刻、清洗等过程。如HCl、HNO3、NH4OH等气体都很容易产生大量的浓烟,这些烟雾中含有刺激性且含毒性的NO2等等。
由于半导体制造的过程中会需要大量使用光阻液、显影液等等,这些溶液主要是有机物质,因此在蚀刻、清洗、薄膜生长等过程中,会有大量的有机溶剂被使用,其中就包括二甲苯、丙酮、苯、CCl4、CF4、CCl2F2等等,其中苯就是高毒性的一级致癌物。
半导体工厂对有害物质实施的措施
为了防止这些污染伤害员工、污染环境,半导体工厂需要有极为严格的污染防治措施,包括实时处理工作场所的空气、妥善处理生产废料。
尤其是快速发展的亚微米工艺对生产现场的空气洁净度要求特别高,所有半导体加工设备都必须放置在与灰尘隔离的封闭空间中,即为洁净室。
洁净室的洁净度有一个公认的标准,以10类为例,是指在单位立方英寸的洁净室空间内,平均只有10个粒径在0.5微米以上的粉尘,所以Class数越少,清洁度越好,当然成本也越贵。同时,也是洁净室设备厂商保证洁净空间安全、舒适、节能、高效。
LED安全很多,其中光生物安全也就是蓝光危害的标准参数如下:
蓝光生物安全有两个标准IEC62471和IEC62778差异如下:
IEC62471,是光生物安全测量和评价的基础标准。主要测量和评价单个光源或灯具的辐射危害。将照明产品的光生物危害分为8类, 也可以根据考察波段大致分为紫外危害、 蓝光危害及红外危害三大类。
IEC62471 ,将辐射危害评判标准三个等级:豁免类, RG1, RG2, 下图查看具体限值
IEC62778在 IEC62471 的基础上, 强调了光源的蓝光危害信息向灯具的传递。
IEC62778主要测量光源, 也可直接测量灯具, 并重新定义了3个安全等级 (RG0 , RG1以及 Ethr for RG2)。
“Ethr for RG2” 适用于蓝光危害加权辐亮度有可能超过 RG1限值或者辐亮度不可测的情况, Ethr 为 RG1和 RG2边界的照度值, 用于确定最小安全使用距离 dmin, 灯具的安装使用距离一般应大于 dmin。
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