我们公司是做实验室设备的，最近考虑搬迁到产业园中，

亚瑟半导体设备安装（上海）有限公司

服务范围：

为无尘(洁净)室提供半导体设备，精密仪器设备，SMT/MOCVD 设备，TFT-LCD 自动化设备，AM-OLED/LTPS及光伏，实验室，光电及机电设备，光学仪器,液晶等离子，工厂企业，集成电路，机器人产线，自动化轨道等客户提供搬运，悬浮气垫平移，搬移，高空吊装，安装服务，move in(out) 特殊装卸装箱掏柜，定位，相关木箱制作及恒温恒湿防震气垫车综合运输服务。

特色服务： 在高端电镜；冷冻电镜，球差电镜，扫描电镜，透射电镜及扫描电子显微镜，聚焦离子束显微镜，在X射线，核磁共振屏蔽，XRD防护室建设，实验室设备搬运，安装，运输，拆装，组合，移位，调试装机，消音消磁，除震消噪及精密仪器的防（减）震台安装，制作均有一套成熟的方案及作业团队。

选择亚瑟：

1、卸车吊装（吊挂）：叉车（3.5T-28T及专用掏箱卸车工具)设备高空吊装吊车(35T-500T专用进口吊带卸扣及吊装杆)

2、移入移出搬运（move in）：洁净（无尘及高架地面）室专用PE膜，PVC板，pp板，不锈钢钢板及专用白钢搬运车

3、出口木箱及国内标准木箱制作捆包：（免熏蒸夹板（实木），防（减）震木底，防湿防潮，抽真空及铝箔袋包装）

4、施工搬运工具：大小型吊装专用平台（吊笼），防静电304不锈钢钢板，无尘室专用悬浮气垫及各种气浮设备和专用工具

5、综合运输：拥有专业运输精密仪器设备及半导体设备的全进口（恒温恒湿）减（防）震气垫车运输及清关服务。

6.安全保障：公司拥有ISO9001质量管理体系认证，OHSAS18000职业健康安全管理认证及SA8000社会责任管理体系认证

VIP：400-081-0031 E-mail：Arthur@ArthurChina.com www.arthurchina.com

悬浮气垫搬运车的基本原理是利用压缩空气，对气囊进行充气，然后通过泄气的方式，在搬运物和地面之间形成稀薄的空气膜，进而大幅减少阻力，能够实现重物的移动、转向以及移位，目前，针对搬运公司、无尘车间、实验室、医疗车间、半导体设备、精密设备等仪器搬运。且与同类搬运设备相比，例如搬运小坦克、手动叉车、起重机等，设备搬运气垫具备一些特有的优势。

龙升新款设备搬运气垫保质升级为4年！！！

1、设备搬运气垫清洁环保： 特别是对于无尘车间和洁净车间这种特殊环境中，在设备的搬运过程中需要做到没有污染和排放，因此使用设备搬运气垫尤为合适！

2、设备搬运气垫能做到防震、无晃动的效果： 像一些半导体设备、注塑机等精密仪器设备使用设备搬运气垫搬运阻力低，工人用很小的推力就能将移动设备，且设备搬运气垫自重轻，在设备的转场的时候，携带也比较省力，安装简单，维护保养简单，配件均可单独更换，也可根据您的使用工况提供配件定制服务（主副气管长度、空气控制器接头数量、气垫模块尺寸吨位等）

本发明涉及一种TFT基板及TFT基板的制造方法，特别地，涉及一 种具备作为TFT (薄膜晶体管)的有源层的氧化物半导体(n型氧化物半 导体层)的顶栅型的TFT基板及TFT基板的制造方法。此外，此TFT基 板及TFT基板的制造方法通过利用第二氧化物层(氧化物导电体层)形成 源布线、漏布线、源电极、漏电极及像素电极，就能够削减制造工序，并 能够降低制造成本。

背景技术：

基于显示性能、节约能源等的理由正广泛地利用LCD(液晶显示装置) 和有机EL显示装置。特别是，这些作为携带电话和PDA (个人携带信息 终端)、电脑和膝上型电脑、电视机等显示装置，基本上成为主流。在这 些显示装置中，通常使用TFT基板。例如，液晶显示装置在TFT基板和对置基板之间填充有液晶等的显示 材料。此外，此显示材料对每个像素选择地施加电压。在此，TFT基板是 配置由半导体薄膜(也称为半导体膜)等形成的TFT (薄膜晶体管)的基 板。由于TFT基板通常以阵列状配置TFT，所以也称为「TFT阵列基板J。再有，在液晶显示装置等中使用的TFT基板中，在玻璃基板上纵横地 配设TFT和液晶显示装置的画面的1像素的组(将这称为1单元)。在TFT 基板中，在玻璃基板上，例如在纵向上以等间隔配置栅布线，在横向上以 等间隔配置源布线或漏布线的一个布线。此外，源布线或漏布线的另一个 布线、栅电极、源电极及漏电极分别被设置在构成各像素的上述单元中。<TFT基板的现有制造方法>现在，作为此TFT基板的制造方法，通常已知有使用5片掩模的5 片掩模工艺、和通过半色调曝光技术使用4片掩模的4片掩模工艺等。 当前，在这样的TFT基板的制造法中，由于使用5片或4片的掩模，所以其制造工艺需要很多工序。例如，4片掩模工艺需要超过35步骤(工 序)的工序，5片掩模工艺需要超过40步骤(工序)的工序。像这样，工 序数量增多时，就会担心制造合格率下降。此外，工序数量多时，就会担 心工序变复杂，制造成本增大。 (使用5片掩模的制造方法)图54是用于说明现有例相关的TFT基板的制造方法的示意图，(a) 表示形成有栅电极的剖面图。(b)表示形成蚀刻停止层的剖面图。(c)表 示形成有源电极及漏电极的剖面图。(d)表示形成有层间绝缘膜的剖面 图。(e)表示形成有像素电极的剖面图。在图54 (a)中，在玻璃基板9210上，使用第一掩模(未图示)形成 栅电极9212。即，首先在玻璃基板9210上通过溅射堆积金属(例如Al (铝)等)。接着，使用第一掩模通过光刻法形成抗蚀剂。接着，通过按 规定的形状进行蚀刻，形成栅电极9212，灰化抗蚀剂。接着，如图54 (b)所示，在玻璃基板9210及栅电极9212上依次层 叠由SiN膜(氮化硅膜)形成的栅绝缘膜92B、及a-Si:H(i)膜9214。接 着，堆积作为沟道保护层的SiN膜(氮化硅膜)。接着，使用第二掩模(未 图示)通过光刻法形成抗蚀剂。接着，是用CFH气体以规定的形状干蚀 刻SiN膜，形成蚀刻停止层9215，灰化抗蚀剂。接着，如图54 (c)所

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