黄光区有电压稳定装置,不致发生晶圆报废情况,但半导体黄光会产生薄膜、扩散、蚀刻区的风险,且较大,可以说是全面报废。
黄光是在半导体行业里,将硅片等晶片进行涂胶、软烘、曝光、显影、硬烤,使其光刻出一定图形的工艺。特点是,黄光是精细电路的制程工艺之一。
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黄光区有电压稳定装置,不致发生晶圆报废情况,但半导体黄光会产生薄膜、扩散、蚀刻区的风险,且较大,可以说是全面报废。
黄光是在半导体行业里,将硅片等晶片进行涂胶、软烘、曝光、显影、硬烤,使其光刻出一定图形的工艺。特点是,黄光是精细电路的制程工艺之一。
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