傅里叶红外光谱仪能测硅基上的无机物半导体薄膜吗(硅不透光)

不透光的样品需要用到ATR附件，利用红外反射（而不是投射）来检测。

另外，对于无机物，一般不用常规的中红外光谱（波数范围 400 ～ 4000 cm^-1）检测，而是用远红外光谱（波数范围 <400 cm^-1）

光谱仪是一种利用金属折射光进行检测的设备，因为地球上不同的元素及其化合物都有自己独特的光谱特征，光谱因此更被称之为为辨别物质的“指纹”，通过检测金属的光谱就可以来获取物质的成分信息及元素含量。因其光谱仪的作用及应用范围范围非常广泛，在汽车，膜工业，拉曼光谱，半导体工业，成分检测等领域多有涉及。

因此其光谱仪内部用于检测光的核心部件传感器及光栅就显得格外重要，光栅重要对折射回来的光谱进行分光处理，而采购器则负责对光的感应及信息处理，因此这两个核心硬件的质量直接决定着光谱仪检测是否精准。而要想完全发挥光谱仪的作用，除了内部核心硬件高质量之外，还需要注意以下问题。首先，因为光谱仪是采用电火花检测，在激发的一瞬间会产生大量高温，为能够连续检测就需要准备降温设备（如空调），并且还需要准备高纯度的氩气用于辅助光谱仪进行相关检测。其次在选择室内时应选择干燥区域，避免内部接触到水分，并且尽可能不要放置在强光处被暴晒。这样在检测时注意这些，让光谱仪的作用发挥极限。

光谱检测就是根据物质的光谱来鉴别物质及确定它的化学组成和相对含量。

光谱检测其优点是灵敏，迅速。历史上曾通过光谱分析发现了许多新元素，如铷，铯，氦等。根据分析原理光谱分析可分为发射光谱分析与吸收光谱分析二种；

根据被测成分的形态可分为原子光谱分析与分子光谱分析。光谱检测的被测成分是原子的称为原子光谱，被测成分是分子的则称为分子光谱。

扩展资料：

介绍

由于每种原子都有自己的特征谱线，因此可以根据光谱来鉴别物质和确定它的化学组成。这种方法叫做光谱分析。做光谱分析时，可以利用发射光谱，也可以利用吸收光谱。

这种方法的优点是非常灵敏而且迅速。某种元素在物质中的含量达10^-10(10的负10次方)克，就可以从光谱中发现它的特征谱线，因而能够把它检查出来。光谱分析在科学技术中有广泛的应用。

例如，在检查半导体材料硅和锗是不是达到了高纯度的要求时，就要用到光谱分析．在历史上，光谱分析还帮助人们发现了许多新元素。例如，铷和铯就是从光谱中看到了以前所不知道的特征谱线而被发现的。光谱分析对于研究天体的化学组成也很有用。

十九世纪初，在研究太阳光谱时，发现它的连续光谱中有许多暗线。最初不知道这些暗线是怎样形成的，后来人们了解了吸收光谱的成因，才知道这是太阳内部发出的强光经过温度比较低的太阳大气层时产生的吸收光谱。

仔细分析这些暗线，把它跟各种原子的特征谱线对照，人们就知道了太阳大气层中含有氢、氦、氮、碳、氧、铁、镁、硅、钙、钠等几十种元素。

参考资料来源：百度百科-光谱检测

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