半导体芯片制造有哪些工艺流程,会用到那些设备,这些设备的生产商有哪些?

半导体芯片制造有哪些工艺流程,会用到那些设备,这些设备的生产商有哪些?,第1张

主要是对硅晶片(Si wafer)的一系列处理

1、清洗 ->2、在晶片上铺一层所需要的半导体 ->3、加上掩膜 ->4、把不要的部分腐蚀掉 ->5、清洗

重复2到5就可以得到所需要的芯片了

Cleaning ->Deposition ->Mask Deposition ->Etching ->Cleaning

1、中的清洗过程中会用到硝酸,氢氟酸等酸,用于清洗有机物和无机物的污染

其中Deposition过程可能会用到多种器材,比如HELIOS等~

Mask Deposition过程中需要很多器材,包括Spinner,Hot plate,EVG等等~

根据材料不同或者需要的工艺精度不同,Etching也分很多器材,可以使用专门的液体做Wet etch,或者用离子做Plasma Etching等

最后一部的Cleaning一般是用Develpoer洗掉之前覆盖的掩模~

多数器材都是Oxford Instruments出的

具体建议你去多看看相关的英文书,这里说不清楚。。

半导体新产品导入流程包括以下步骤:

1、产品设计:确定新产品的功能、性能和外观,并确定半导体元件的类型和数量。

2、原材料采购:根据产品设计,采购所需的半导体元件,以及其他原材料。

3、工艺设计:根据产品设计,确定半导体元件的安装位置,以及其他工艺参数。

4、测试:测试新产品的性能,确保其达到设计要求。

5、产品发布:发布新产品,开始销售。


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原文地址: http://outofmemory.cn/dianzi/7529596.html

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