如何保证半导体集成电路芯片质量与可靠性

如何保证半导体集成电路芯片质量与可靠性,第1张

保证半导体集成电路芯片质量quality 必需从三个向度做起,首先是明确设计规范和用途,次者是制造芯片流程良率控管,最后是芯片封装测试的良率精度

确保芯片可靠性feasibility只一个方法就是向正规大厂购买

导电好坏的判断可以根据单位电场(电压)下,电流的大小衡量。但如果说导电能力,则应该说由其电导衡量,由电导公式σ = nqμ + pqμ,则可看出由电子浓度和空穴浓度决定,因为材料的载流子迁移率在一定温度和电场(电压)下是恒定的。这样提高材料导电能力,可通过掺杂提高载流子浓度(电子浓度和空穴浓度),常温下硅本征载流子浓度为10^(10)/cm-3,一般重掺杂后载流子浓度为10^18/cm-3左右(常温下几乎全部电离),大幅度提高了半导体的导电能力(金属为10^22/cm-3左右)。望采纳!

你问的是关于Q的问题。我以前在半导体公司做过制程,培训过一些Q的知识。希望对你有所帮助。

半导体生产中,是通过在系统上设置目标值及范围来对质量的进行监控。

比如:现在我要长一层8000A(目标值)的BPSG film。怎么长?是thin film Module(薄膜部门) 工程师在机台上建立好程式,包括目标值和范围也要建进去。长好膜后,线上的TA(作业员)就会把wafer拿到量测机台上去测试,以及记录下数据,再输进系统,这个系统叫APC(先进制程控制)。APC就是由Q部门管控的,把数据输进去后,在办公室的工程师和Q部门的人随时可以从系统上抓到实时数据。这种数据就以箱型图、散布图、推移图的形式出现。通过这样的数据和图形,我们就可以及时监控线上的生产进度、机台状态、以及run货的质量问题。

至于你问的6sigma的应用:假设目标值M,公差L(范围),标准差D=L/6 或者 6D=L,也就是说规格公差为标准差的6倍。设我们产线上所得到得数据是X,M-L<X<M+L 都是合格的。依常态分布计算,该特性不合格的几率为0.002ppm,既十一分之二。

方差s^2=[(x1-x)^2+(x2-x)^2+......(xn-x)^2]/n

标准差=方差的算术平方根

这个6sigma其实说起蛮复杂的,建议你看看关于Q的专业书籍,《统计制程控制》《质量管理》等等。当然如果你能找到Q的专业人士最好不过了。


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