半导体工艺废气如何高效处理？

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半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分，在工艺过程中，这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs，同时废气中还混合了HCl、氨、HF等危险污染物，分离和处理难度比较大。

半导体酸废气处理方法

半导体酸废气处理通常采用碱液体喷淋法，又称化学洗涤法。因液体自身具有的溶解特性，可以更好地捕捉沉降，溶解去除污染物，而达到大气排放标准，故喷淋法是半导体行业酸碱废气治理普遍采用的主要处理方法。

新材料行业半导体废气处理的方法

RTO蓄热式焚烧炉设备，简称“RTO设备”，是采用高温破坏焚烧的废气治理技术。采用的升温能源一般是电和天然气，虽然采用高温700℃的温度进行废气处理，但其实消耗的能源并不多，这是因为设备能够将热能回收利用，大大降低能量消耗的同时提高了废气分子的燃烧反应速率。设备的主体由燃烧室、陶瓷填料床和转换阀等构成。设备的净化效率也维持稳定在99%以上。

半导体行业废气处理方法以及对比

半导体行业有机废气处理方法，通常先用沸石转轮对VOCs进行吸附浓缩之后，再用直接燃烧法进行销毁，废气净化率达到97%以上。

直接燃烧又称为直接火焰燃烧，它是把VOCs可燃组分直接烧掉，因此该方法适用于净化可燃有害组分浓度较高的废气，或者净化有害组分燃烧时热值较高的废气；多种可燃气体或多种溶剂蒸气混合在废气中，只要浓度值适宜，也可以直接燃烧。如果可燃组分的浓度高于燃烧上限，可以混入空气后燃烧；如果可燃组分的浓度低于燃烧下限，则可以加入一定数量的辅助燃料如天然气等，维持燃烧。

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第一条　为了实施建设项目环境影响评价分类管理，根据《环境影响评价法》第十六条的规定，制定本名录。第二条　国家根据建设项目对环境的影响程度，对建设项目的环境影响评价实行分类管理。建设单位应当按照本名录的规定，分别组织编制环境影响报告书、环境影响报告表或者填报环境影响登记表。第三条　本名录所称环境敏感区，是指依法设立的各级各类自然、文化保护地，以及对建设项目的某类污染因子或者生态影响因子特别敏感的区域，主要包括：（一）自然保护区、风景名胜区、世界文化和自然遗产地、饮用水水源保护区；（二）基本农田保护区、基本草原、森林公园、地质公园、重要湿地、天然林、珍稀濒危野生动植物天然集中分布区、重要水生生物的自然产卵场及索饵场、越冬场和洄游通道、天然渔场、资源性缺水地区、水土流失重点防治区、沙化土地封禁保护区、封闭及半封闭海域、富营养化水域；（三）以居住、医疗卫生、文化教育、科研、行政办公等为主要功能的区域，文物保护单位，具有特殊历史、文化、科学、民族意义的保护地。第四条　建设项目所处环境的敏感性质和敏感程度，是确定建设项目环境影响评价类别的重要依据。建设涉及环境敏感区的项目，应当严格按照本名录确定其环境影响评价类别，不得擅自提高或者降低环境影响评价类别。环境影响评价文件应当就该项目对环境敏感区的影响作重点分析。第五条　跨行业、复合型建设项目，其环境影响评价类别按其中单项等级最高的确定。第六条　本名录未作规定的建设项目，其环境影响评价类别由省级环境保护行政主管部门根据建设项目的污染因子、生态影响因子特征及其所处环境的敏感性质和敏感程度提出建议，报国务院环境保护行政主管部门认定。第七条　本名录由国务院环境保护行政主管部门负责解释，并适时修订公布。第八条　本名录自2008年10月1日起施行。《建设项目环境保护分类管理名录》（国家环境保护总局令第14号）同时废止。

环评类别 项目类别 报 告 书 报 告 表登 记 表本栏目环境敏感区含义A 水利 1、水库 库容1000 万立方米以上；涉及环境敏感区的 其他 / （一）和（二）中的重要水生生物的自然产卵场及索饵场、越冬场和洄游通道2、灌区 新建5 万亩以上；改造30 万亩以上其他 / 　3、引水工程跨流域调水；大中型河流引水；小型河流年总引水量超过天然年径流量1/4 以上的；涉及环境敏感区的 其他 / （一），（三）和（二）中的资源性缺水地区、重要水生生物的自然产卵场及索饵场、越冬场和洄游通道 4、防洪工程新建大中型 其他 / 　5、地下水开采 日取水量1 万立方米以上；涉及环境敏感区的其他 / （一）和（二）中的资源性缺水地区、重要湿地 B 农、林、牧、渔 1、农业垦殖5000 亩以上；涉及环境敏感区的 其他 / （一）和（二）中的基本草原、重要湿地、资源性缺水地区、水土流失重点防治区、富营养化水域 2、农田改造项目 / 涉及环境敏感区的 不涉及环境敏感区的3、农产品基地项目 涉及环境敏感区的 不涉及环境敏感区的 / 4、经济林基地 原料林基地 其他 / 　5、森林采伐皆伐 间伐 / 　

环评类别 项目类别 报 告 书 报 告 表登 记 表本栏目环境敏感区含义6、防沙治沙工程 / 全部 / 　7、养殖场（区） 猪常年存栏量3000 头以上；肉牛常年存栏量600 头以上；奶牛常年存栏量500 头以上；家禽常年存栏量10万只以上；涉及环境敏感区的 其他 / （一），（三）和（二）中的富营养化水域 8、围栏养殖年存栏量折合5000 羊单位以上 年存栏量折合5000～500 羊单位 年存栏量折合500 羊单位以下 　9、水产养殖项目 网箱、围网等投饵养殖，涉及环境敏感区的 其他 / （一）和（二）中的封闭及半封闭海域、富营养化水域 10、农业转基因项目，物种引进项目 全部 / / 　C 地质勘查 1、基础地质勘查 / 全部 / 　2、水利、水电工程地质勘查 / 全部 / 　3、矿产地质勘查 / 全部 / 　D 煤炭 1、煤层气开采年生产能力1 亿立方米以上；涉及环境敏感区的 其他 / （一），（三）和（二）中的基本草原、水土流失重点防治区、沙化土地封禁保护区

环评类别 项目类别 报 告 书 报 告 表登 记 表本栏目环境敏感区含义2、煤炭开采全部 / / 　3、焦化 全部 / / 　4、煤炭液化、气化 全部 / / 　5、选煤、配煤 新建 改、扩建 / 　6、煤炭储存、集运 / 全部 / 　7、型煤、水煤浆生产 / 全部 / 　E 电力 1、火力发电（包括热电）全部 / / 　2、水力发电总装机1000 千瓦以上；抽水蓄能电站；涉及环境敏感区的 其他 / （一）和（二）中的重要水生生物的自然产卵场及索饵场、越冬场和洄游通道 3、生物质发电 农林生物质直接燃烧或气化发电，生活垃圾焚烧发电 沼气发电， 垃圾填埋气发电 / 　4、综合利用发电 利用矸石、油页岩、石油焦、污泥、蔗渣等发电 单纯利用余热、余压、余气（含瓦斯、煤层气）发电 / 　5、其他能源发电 潮汐发电；总装机容量50000 千瓦以上的风力发电，涉及环境敏感区的 利用地热、太阳能等发电；其他风力发电 / （一）和（三）

环评类别 项目类别 报 告 书 报 告 表登 记 表本栏目环境敏感区含义6、送（输）变电工程 500 千伏以上； 330 千伏以上，涉及环境敏感区的 其他 / （一）和（三） 7 、脱硫、脱硝等环保工程 海水脱硫 其他 / 　F 石油、天然气 1、石油开采全部 / / 　2、天然气开采（含净化）全部 / / 　3、油库 总容量20 万立方米以上；地下洞库其他 / 　4、气库 地下气库 其他 / 　5、石油、天然气管线 200 公里以上；涉及环境敏感区的 其他 / （一），（三）和（二） 中的基本农田保护区、地质公园、重要湿地、天然林 G 黑色金属 1、采选全部 / / 　2、炼铁（含熔融还原）、球团及烧结 全部 / / 　3、炼钢

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