1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求？

半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺，在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境，风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，最普通的万级区域环境建设参数一般如下（百级千级黄光区域要求更高）：

1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。

2、垂直流洁净室满布比不小于60%，水平单向流洁净室不小于40%，以防止局部单向流。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6、净化空调系统加热器设置新风，超温断电保护。

对于半导体这样高要求的无尘环境，推荐找CEIDI西递做全面的设计和施工，他们是洁净工程领域的EPC集成服务商，在无尘车间的建造方面已经有很多成功案例。题主大大采纳下我呗

这方面的内容我更建议你直接联系EPC工程（总承包）集成服务商，专业的公司会先实地考察，了解企业的具体需求，才会给出合理的方案。毕竟半导体无尘车间除了装饰装修施工有自己的重点难点外， 洁净技术的难度更大。净化空调系统及其风管、过滤器的施工安装、高纯水系统及其管线的安装、高纯气体系统（含特种气体供应等）及其管线安装、真空系统及其管线的安装、化学品供应系统及其管线的安装、各种排风和排气系统及其处理设备的安装、消防安全报警系统及其控制设备的安装、变配电、电气系统及其桥架、配管配线的安装、照明系统及灯具的安装、防微振装置的安装、生产工艺设备及其配管配线的安装等内容都各有讲究。像我们公司之前找上海CEIDI西递总包承建，设计师也是先过来确认场地以及基本信息后才给方案的，三天就能出平面方案，一周后出深化方案。百度也查得到的

车间净化工程主要的组成部分有六大部分，分别为：地面系统、风管系统、自控系统、电气系统、给排水系统、空气过滤系统六大部分。

地面系统：一般采用环氧树脂洁净地面。 围护结构系统：简单说是顶、墙、地三部分，即组成三维密闭空间的六个面。往细的说包括门窗、装饰圆弧等；

风管系统：包括送风、回风、新风、排风管道、末端及控制装置等；空调系统：包括冷（热）水机组（包括水泵、冷却塔等）（或风冷管道机级等），管路、组合式净化空调箱（包括混流段、初效段、加热段、制冷段、除湿段、加压段、中效段、静压段等）；

自控系统：包括温度控制、温度控制、风量风压控制、开启顺序和时间控制等；

电气系统：照明、动力、弱电三部分，包括净化灯具、插座、电气柜、线路、监控、电话等强弱电系统；

给排水系统：给水、排水管道、设施及控制装置等；

空气过滤系统：初中高效过滤器等其他净化设备：如臭氧、紫外线灯、风淋（包括货淋）、传递窗、超净工作台,互联锁等净化辅助设备。

净化车间工程可分为空气净化与水净化，空气净化是在一定空间范围内，将空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内的工程学科。净化工程所特别设计的房间，不论外在空气条件如何变化，室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能。

以上是对题主问题的解答，希望对你有帮助~有净化工程的问题有可以联系我们~

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